{"main":{"block":"<a class=\"main-header\" href=\"#page_1075034\">Ryzen 7000 \u0436\u0430\u0440\u044f\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438 \u2014 \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u043b\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u0430 20 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432<\/a><div class=\"main-teaser\"><a href=\"#page_1075034\"><span class=\"image-wrap\"><img src=\"\/assets\/external\/icons\/2022\/09\/29\/1075034.jpg\"><\/span><\/a>\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440<\/div>","title":"Ryzen 7000 \u0436\u0430\u0440\u044f\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438 \u2014 \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u043b\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u0430 20 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432","text":"<p>\u041e\u0431\u0437\u043e\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 Ryzen 7000 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1074831\/vishli-obzori-ryzen-7000\" target=\"_blank\">\u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438<\/a>, \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435, \u043d\u043e \u0432 \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0433\u043e\u0440\u044f\u0447\u0438\u0435 \u0447\u0438\u043f\u044b. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0444\u043b\u0430\u0433\u043c\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 16-\u044f\u0434\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 Ryzen 9 7950X \u0432 \u0442\u0435\u0441\u0442\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043e\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u043b\u0441\u044f \u0434\u043e 94&ndash;95, \u0430 \u0432 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0445 &mdash; \u0434\u043e 76 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0426\u0435\u043b\u044c\u0441\u0438\u044e. \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0441 \u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u044f\u0442\u044c \u0434\u043e 247 \u0412\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0421\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0443\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 AMD \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0432\u0435\u0441\u044c\u043c\u0430 \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0434\u0443\u0440\u044b \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0441\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438).<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/gergedfasfdsdgs.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Der8auer\" height=\"467\" width=\"750\" \/>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Der8auer<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041d\u0435\u043c\u0435\u0446\u043a\u0438\u0439 \u044d\u043d\u0442\u0443\u0437\u0438\u0430\u0441\u0442 \u0420\u043e\u043c\u0430\u043d \u0425\u0430\u0440\u0442\u0443\u043d\u0433 (Roman Hartung), \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434 \u043f\u0441\u0435\u0432\u0434\u043e\u043d\u0438\u043c\u043e\u043c Der8auer, \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u0438\u0442\u044c, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0441 Ryzen 9 7900X \u0441\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0443. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0441\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c, \u043d\u043e \u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u043c.&nbsp;\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440 \u0431\u044b\u043b \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u0432 Socket AM5 \u0441\u043e \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u043c\u043a\u043e\u0439 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043f\u0451\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441&nbsp;&laquo;\u0433\u043e\u043b\u044b\u043c&raquo;&nbsp;CPU \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.&nbsp; <span>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u043b\u0430\u0441\u044c \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0441 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0442\u0438\u043f\u043e\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 360 \u043c\u043c.&nbsp;<\/span><\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/ryzen_7000_delid.png\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/sm.ryzen_7000_delid.750.png\" alt=\"\" height=\"456\" width=\"750\" \/> <\/a><\/div>\n<p>\u042d\u043d\u0442\u0443\u0437\u0438\u0430\u0441\u0442 \u0437\u0430\u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044f\u0434\u0435\u0440 Ryzen 9 7900X \u043d\u0430 5,4 \u0413\u0413\u0446. \u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 CPU \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u043b\u0438\u0448\u044c \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0448\u0435 70 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432 \u0426\u0435\u043b\u044c\u0441\u0438\u044f, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0441 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u043b\u0430 90 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438. \u0414\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 15 \u0412\u0442 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0438\u043f\u0430 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0435\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u044d\u043d\u0442\u0443\u0437\u0438\u0430\u0441\u0442 \u0441\u043c\u043e\u0433 \u0440\u0430\u0437\u043e\u0433\u043d\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c \u044f\u0434\u0440\u0430\u043c \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0430 100 \u041c\u0413\u0446, \u0434\u043e\u0431\u0438\u0432\u0448\u0438\u0441\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0432 5,5 \u0413\u0413\u0446.<\/p>\n<center><iframe frameborder=\"0\" height=\"422\" src=\"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/y_jaS_FZcjI\" title=\"YouTube video player\" width=\"750\" allowfullscreen=\"\"><\/iframe><\/center>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0441\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u0430 Der8auer \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430. \u041f\u043e\u0437\u0436\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430. \u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442. \u0412\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445, \u044d\u0442\u043e \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e. \u0415\u0441\u0442\u044c \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0425\u0430\u0440\u0442\u0443\u043d\u0433 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u0440\u043e\u043b\u0438\u043a\u0430. \u0412\u043e-\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445, \u044d\u0442\u043e \u043b\u0438\u0448\u0438\u0442 \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f.<\/p>\n","id":1075034,"fullpath":"1075034"},"reviews":"<a class=\"main-header\" href=\"\/902414\">\u041e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u0441\u043c\u0430\u0440\u0442\u0444\u043e\u043d\u0430 Nokia Lumia 930: \u043e\u043a\u043d\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/a><div class=\"main-teaser\"><a href=\"\/902414\"><span class=\"image-wrap\"><img src=\"\/assets\/external\/icons\/2014\/09\/24\/902414.jpg\"><\/span><\/a>\u041a\u0430\u043a \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u044e\u0431\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u0446\u0438\u0441\u0442\u0430\u043c \u0441\u043b\u043e\u0432\u043e \u00ab\u0444\u043b\u0430\u0433\u043c\u0430\u043d\u00bb \u2014 \u0432\u043f\u043e\u0440\u0443 \u0432\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0437\u0430 \u043d\u0435\u0433\u043e \u0443\u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043d\u0443\u044e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0412 \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440\u0435 Nokia Lumia 930 \u0432\u044b \u0435\u0433\u043e \u043d\u0435 \u0432\u0441\u0442\u0440\u0435\u0442\u0438\u0442\u0435, \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0441\u043c\u0430\u0440\u0442\u0444\u043e\u043d \u2014 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u0435, \u0447\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c \u0444\u0438\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f\u0448\u043d\u0438\u0439 \u0434\u0435\u043d\u044c<\/div>","articles":"<a class=\"main-header\" href=\"\/1074772\">\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 (EUV) \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e, \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u2014 \u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e<\/a><div class=\"main-teaser\"><a href=\"\/1074772\"><span class=\"image-wrap\"><img src=\"\/assets\/external\/icons\/2022\/09\/24\/1074772.jpg\"><\/span><\/a>\u00ab\u0417\u0430\u043a\u043e\u043d \u041c\u0443\u0440\u0430\u00bb \u0431\u044b\u043b \u0432 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437 \u0441\u043f\u0430\u0441\u0451\u043d \u0432 2017 \u0433., \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f ASML \u0434\u043e\u0432\u0435\u043b\u0430 \u0434\u043e \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444, \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043b \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e 17 \u043b\u0435\u0442 \u0438 9 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0421\u0428\u0410.  \u0418 \u043e\u043d\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043b\u043e!<\/div><br>","pages":[{"_id":{"$id":"632f42b6b4182ec9786e9b54"},"id":1074772,"authors":[753],"categories":[613],"fullpath":["1074772","offsyanka\/1074772"],"generated":1664458064,"generator":{"id":139,"username":"nivnikov","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0414\u0435\u043d\u0438\u0441 \u041d\u0438\u0432\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432","groups":[0,3,33]},"header":"\u041d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f: \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 (EUV) \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e, \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u2014 \u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e","keywords":["\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f","intel","\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-01.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-01.800.jpeg\" alt=\"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0443\u044e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)\" height=\"450\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0443\u044e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0412 \u043c\u0430\u0435 2003 \u0433. Intel, \u043a \u0438\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0438\u0437\u0443\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438,&nbsp;<a href=\"https:\/\/www.eetimes.com\/document.asp?doc_id=1175202\" target=\"_blank\">\u043e\u0431\u044a\u044f\u0432\u0438\u043b\u0430<\/a>, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0434\u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 157 \u043d\u043c. \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435, \u0432 2005-\u043c \u0432\u044b\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u043e\u0440\u043c\u0443 65 \u043d\u043c \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e 157-\u043d\u043c \u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u043e\u0432, \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u0442 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440 \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u043d\u0451\u0440\u043e\u0432 &mdash; \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 &mdash; \u0438 \u0434\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0434\u043e\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 DUV-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0441 193-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 (\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u043e \u0447\u0443\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438).<\/p>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 2003 \u0433. DUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0443\u0436\u0435 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c \u0441 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0421\u0411\u0418\u0421 \u043f\u043e 90-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443. \u041f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439 ASML, Canon \u0438 Nikon, \u0433\u0434\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u044d\u0442\u0438 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u044b, \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u0445 \u0442\u0430\u043a, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0441\u0432\u043e\u0438\u0442\u044c 65-\u043d\u043c, \u0430 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0438 45-\u043d\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b. \u0427\u0442\u043e \u0436\u0435 \u0434\u043e 32-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 Intel <a href=\"https:\/\/optics.org\/article\/18103\/oleana2_109-03\" target=\"_blank\">\u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043d\u0430 2009 \u0433.<\/a>, \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b, \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0434\u0435\u043b\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 2003 \u0433.) \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0441 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e, \u0438\u043b\u0438 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e, \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430 (EUV).<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-02.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-02.800.jpeg\" alt=\"\u0424\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b EUV-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0445 \u043f\u043e &laquo;\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439&raquo; \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u0432 ASML \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043b\u0451\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 KUKA Robotics (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)\" height=\"600\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0424\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b EUV-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0445 \u043f\u043e &laquo;\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439&raquo; \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u0432 ASML \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043b\u0451\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 KUKA Robotics (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u043c\u044b \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0437\u043d\u0430\u0435\u043c, \u0441 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043e\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u044c \u0434\u043e \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 &laquo;7 \u043d\u043c&raquo; \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439&mdash;\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f ASML, \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u043d\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u043e. \u0412 \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f EUV (\u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f &mdash; 13,5 \u043d\u043c), \u0445\u043e\u0442\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f\u0445 <a href=\"https:\/\/www.laserfocusworld.com\/blogs\/article\/14039015\/how-does-the-laser-technology-in-euv-lithography-work\" target=\"_blank\">\u0441 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 1990-\u0445<\/a>, \u0441\u043c\u043e\u0433\u043b\u0430 \u0432\u043e\u043f\u043b\u043e\u0442\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0421\u0411\u0418\u0421 \u043b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2010-\u0445. \u0410 \u0432\u043e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u044c \u0432\u0435\u0441\u044c \u0432\u043e\u0440\u043e\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c 157-\u043d\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u0435\u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e Intel \u043a\u0430\u043a \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u043e\u0441\u043e\u0437\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0435\u0449\u0451 \u0432 2003 \u0433., \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u0442\u0430\u043a \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u0438 \u043d\u0435 \u0441\u0443\u043c\u0435\u043b\u0438 &mdash; \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435, \u0432\u043d\u0435 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d, \u0432 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443.<\/p>\n<p>\u041f\u043e \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a \u0437\u0434\u043e\u0440\u043e\u0432\u043e \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0432\u0448\u0438\u043c\u0441\u044f \u0441 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439 193-\u043d\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u0430 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0445\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0448\u0430\u0433\u043d\u0443\u0442\u044c \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 180 \u043d\u043c, \u0447\u0435\u043c \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 36 \u043d\u043c, &mdash; \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0441 \u0443\u0447\u0451\u0442\u043e\u043c \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0448\u0430\u0433 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0437\u0430\u0442\u044f\u043d\u0443\u043b\u0441\u044f \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0434\u0432\u0430 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0430 \u043b\u0435\u0442?<\/p>\n<p class=\"h3\">\u0426\u0435\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430<\/p>\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0430\u044f EUV-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 <a href=\"https:\/\/www.asml.com\/en\/products\/euv-lithography-systems\/twinscan-nxe3400b\" target=\"_blank\">ASML TWINSCAN NXE:3400B<\/a>, \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 &laquo;7 \u043d\u043c&raquo; \u0438 &laquo;5 \u043d\u043c&raquo; \u0438 \u0448\u0442\u0430\u0442\u043d\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0434\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0441\u0435\u0434\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 (gate pitch &mdash; \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435) 13 \u043d\u043c, \u0442\u044f\u043d\u0435\u0442 \u043d\u0430 180 \u0442\u043e\u043d\u043d, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0438\u0437 100 \u0442\u044b\u0441. \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 1 \u041c\u0412\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0435\u0451 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 <a href=\"https:\/\/www.technologyreview.com\/2021\/10\/27\/1037118\/moores-law-computer-chips\/\" target=\"_blank\">\u0432 2017-\u043c<\/a>.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-03.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-03.800.jpeg\" alt=\"\u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439, \u0433\u0440\u043e\u043c\u043e\u0437\u0434\u043a\u0438\u0439, \u043d\u043e \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b &mdash; \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f &mdash; \u0432 &laquo;\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439&raquo; \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)\" height=\"514\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439, \u0433\u0440\u043e\u043c\u043e\u0437\u0434\u043a\u0438\u0439, \u043d\u043e \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b &mdash; \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f &mdash; \u0432 &laquo;\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439&raquo; \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041e\u043d\u0430 \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 120 \u043c\u043b\u043d \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0421\u0428\u0410, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c TWINSCAN NXE:3600D, \u0447\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 &laquo;5-\u043d\u043c&raquo; \u0438 &laquo;3-\u043d\u043c&raquo; \u0421\u0411\u0418\u0421, \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0438 \u0434\u043d\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 <a href=\"https:\/\/www.cnbc.com\/2022\/03\/23\/inside-asml-the-company-advanced-chipmakers-use-for-euv-lithography.html\" target=\"_blank\">\u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u0435<\/a>. DUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u044b \u0436\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f <a href=\"https:\/\/seekingalpha.com\/article\/4354007-asml-not-just-monopoly-in-euv-lithography\" target=\"_blank\">\u043f\u043e 40-60 \u043c\u043b\u043d \u0434\u043e\u043b\u043b.<\/a> \u0437\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 &mdash; \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e \u044d\u0442\u043e&nbsp;\u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u043e \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442 \u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u044b\u0432\u0435 \u0432 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0448\u043b\u043e\u0441\u044c \u0440\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c EUV-\u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u0418\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e, \u0432 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043c \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2000-\u0445, \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f Intel \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 DUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0441 157-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430\u043d\u043d\u0430 \u0441 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0422\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441 \u044d\u0442\u0438\u043c \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e-\u0442\u043e \u043d\u0430 36 \u043d\u043c \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u0434\u043b\u044f 193-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432. \u041a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c, \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f \u0440\u0435\u0448\u0438\u0442\u044c \u043b\u0438\u0448\u044c \u0440\u044f\u0434 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 157-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, &mdash; \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0441\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442 193-\u043d\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0448\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0438\u0446 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u043c \u043a\u0440\u0430\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u0440\u043e\u043d\u0442\u0430.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-04.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-04.800.jpeg\" alt=\"\u0428\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0430\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0445 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432 &mdash; \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0439\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)\" height=\"1072\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0428\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0430\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0445 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432 &mdash; \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0439\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0418 \u0432\u0441\u0451 \u0436\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043e\u0442 193-\u043d\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d-\u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 (ArF) \u043a <a href=\"https:\/\/www.eetimes.com\/canon-infineon-to-develop-157-nm-lithography-processes-for-0-07-micron-ics\/\" target=\"_blank\">157-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u043c \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u043c \u0444\u0442\u043e\u0440\u0435<\/a> (F<sub>2<\/sub>) \u0442\u0430\u043a \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u0438 \u043d\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c. \u0414\u0435\u043b\u043e \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u0432 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043b \u0431\u044b \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a 157-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f: \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0440\u043e\u043b\u0438 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0444\u043b\u044e\u043e\u0440\u0438\u0442 (CaF<sub>2<\/sub>), \u0445\u043e\u0442\u044f \u0443 \u043d\u0435\u0433\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0441 <a href=\"http:\/\/ens.tpu.ru\/POSOBIE_FIS_KUSN\/%D0%9A%D0%BE%D0%BB%D0%B5%D0%B1%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%8F%20%D0%B8%20%D0%B2%D0%BE%D0%BB%D0%BD%D1%8B.%20%D0%93%D0%B5%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%82%D1%80%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B0%D1%8F%20%D0%B8%20%D0%B2%D0%BE%D0%BB%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D1%8F%20%D0%BE%D0%BF%D1%82%D0%B8%D0%BA%D0%B0\/11-3.htm\" target=\"_blank\">\u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c \u043b\u0443\u0447\u0435\u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/a>, \u0430 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437\u044b \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 <a href=\"https:\/\/optics.org\/article\/18103\" target=\"_blank\">\u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e 3 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432<\/a>.<\/p>\n<p>\u041e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u0448\u043c\u0430\u0440\u043e\u0432 157-\u043d\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043e\u0442 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0441\u0443\u043c\u0435\u043b\u0438 \u0442\u043e\u043b\u043a\u043e\u043c \u0438\u0437\u0431\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440, &mdash; <em>\u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f<\/em> \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u0430\u043a \u043c\u044b \u0443\u0432\u0438\u0434\u0438\u043c \u0447\u0443\u0442\u044c \u043f\u043e\u0437\u0436\u0435, \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0440\u0442\u044f\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u043e \u043a\u0440\u043e\u0432\u0438. \u041d\u043e \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0441 \u0440\u0435\u0444\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u0431\u0435\u0437\u043d\u0430\u0434\u0451\u0436\u043d\u0430\u044f.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-05.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-05.800.jpeg\" alt=\"\u041b\u0438\u043d\u0437\u044b \u0438\u0437 \u0444\u043b\u044e\u043e\u0440\u0438\u0442\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: UQG Optics)\" height=\"533\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041b\u0438\u043d\u0437\u044b \u0438\u0437 \u0444\u043b\u044e\u043e\u0440\u0438\u0442\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: UQG Optics)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0417\u0430\u0433\u0432\u043e\u0437\u0434\u043a\u0430 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043b\u0443\u0447 157-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u043f\u0430\u0434\u0430\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443, \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u043e \u0432\u044b\u0448\u0438\u0431\u0430\u0435\u0442 \u0444\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u0443 (\u0434\u0430\u0436\u0435 \u0441 \u0443\u0447\u0451\u0442\u043e\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e). \u0412 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u0442\u0435 <a href=\"https:\/\/www.laserfocusworld.com\/test-measurement\/research\/article\/16556689\/resist-outgassing-challenges-loom-at-157-nm\" target=\"_blank\">\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0439 \u043a \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0435 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0437\u0435<\/a> &mdash; \u0438 \u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u0435\u0451 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043d\u0430\u0440\u0443\u0448\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0445\u043e\u0434\u0430 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f \u0432 \u043d\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0443\u044e \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443. \u0410 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0438\u043d\u0437\u043e\u0439 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0435\u043b\u044c\u0437\u044f: \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u0441\u044f \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b &mdash; \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u0415\u0449\u0451 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442: \u0432\u0441\u0435\u043c \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0432 &laquo;\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0430\u0445&raquo;, \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445 \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u0443\u0442\u0451\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0432\u0435\u0434\u0451\u043d \u0434\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043e\u043a \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c 0,5 \u043c\u043a\u043c (500 \u043d\u043c) <a href=\"https:\/\/www.eesemi.com\/cleanrooms.htm\" target=\"_blank\">10 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446 \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435<\/a>, \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c 300 \u043d\u043c &mdash; 30 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446 \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435, 200 \u043d\u043c &mdash; 75 \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435, 100 \u043d\u043c &mdash; 350 \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435. \u0427\u0435\u043c \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430, \u0442\u0435\u043c \u0436\u0451\u0441\u0442\u0447\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a. \u0412\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0436\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-06.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-06.800.jpeg\" alt=\"\u0422\u0443\u0440\u0431\u043e\u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u044b, \u043e\u0442\u043a\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445 \u0438\u0437 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b, \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438 \u0434\u043b\u044f 157-\u043d\u043c DUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0430: \u043e\u043d\u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0442\u044c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)\" height=\"615\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0422\u0443\u0440\u0431\u043e\u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u044b, \u043e\u0442\u043a\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445 \u0438\u0437 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b, \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438 \u0434\u043b\u044f 157-\u043d\u043c DUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0430: \u043e\u043d\u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0442\u044c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0422\u0430\u043a \u0432\u043e\u0442, \u0434\u043b\u044f 157-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u043d\u0435\u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0432 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0435 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e&nbsp;<em>\u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043e\u043a,<\/em> \u043d\u043e \u0438 \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e-\u043d\u0438\u0431\u0443\u0434\u044c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0442\u0430\u043a \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 <em>\u0433\u0430\u0437\u043e\u0432-\u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439:<\/em> \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430, \u0434\u0432\u0443\u043e\u043a\u0438\u0441\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430, \u0432\u043e\u0434\u044f\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0440\u0430. \u0410 \u0432\u0441\u0451 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e 157-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f&nbsp;\u044d\u0442\u0438\u043c\u0438 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 <a href=\"https:\/\/spie.org\/news\/progress-report-157-nm-lithography-prepares-to-graduate\" target=\"_blank\">\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435<\/a>, \u0447\u0435\u043c 193-\u043d\u043c. \u0422\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b \u044d\u0442\u0438\u0445, \u0432 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c-\u0442\u043e, \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u0438\u0441\u0447\u0438\u0441\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f <em>\u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u0430\u0440\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 <\/em>\u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b, \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 157-\u043d\u043c \u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0430 (<a href=\"https:\/\/www.laserfocusworld.com\/optics\/article\/16556523\/challenges-remain-for-157nm-lithography\" target=\"_blank\">\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0430\u0437\u043e\u0442<\/a>).<\/p>\n<p>\u0421 EUV \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u043d\u0430\u044f, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0423\u0424-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043d\u0447\u0430\u0439\u0448\u0438\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c <em>\u043b\u044e\u0431\u043e\u0433\u043e<\/em> \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430. \u042d\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0431\u0435\u0441\u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0444\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 (\u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439) \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b. \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043b\u0438\u043d\u0437, \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442, \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e (\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e) \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u0438\u0441\u043a\u0440\u0438\u0432\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e, \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e, \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c &mdash; \u043d\u043e \u0432 \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0438\u0437\u0431\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0445 \u043e\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u044b\u0442\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043c\u043e\u043b\u043e\u0434\u043e\u0435 \u0432\u0438\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0440\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0438.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-07.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-07.800.jpeg\" alt=\"\u0421\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430 &laquo;3 \u043d\u043c&raquo;) (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)\" height=\"533\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0421\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430 &laquo;3 \u043d\u043c&raquo;) (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0445 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u043b\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0441 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u044b\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 13,5-\u043d\u043c EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 <em>\u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e<\/em> \u0441 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c DUV-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u0445 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c. \u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c <a href=\"https:\/\/en.wikichip.org\/wiki\/7_nm_lithography_process\" target=\"_blank\">\u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e<\/a>, \u0432 2018-2019 \u0433\u0433., \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0432\u044b\u0448\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 TSMC \u043f\u043e &laquo;7-\u043d\u043c&raquo; (\u0441 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0433\u0440\u0435\u0431\u043d\u044f FinFET-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 6 \u043d\u043c) \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 \u043d\u0430 DUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430\u0445 &mdash; \u0438 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 Samsung \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e &laquo;7-\u043d\u043c&raquo; (\u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 8-10 \u043d\u043c) \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0435 \u043d\u0430 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u0445.<\/p>\n<p class=\"h3\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438<\/p>\n<p>\u0427\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1073858\" target=\"_blank\">\u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/a> \u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u043d\u0430 <em>\u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438,<\/em> \u0443\u0432\u044f\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0439 &mdash; \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438, \u0431\u0435\u0437 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u0443\u0445\u0438\u0449\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432\u0440\u043e\u0434\u0435 <a href=\"https:\/\/blog.lamresearch.com\/tech-brief-multiple-patterning-makes-miniaturization-possible\/\" target=\"_blank\">LELE \u0438\u043b\u0438 SAMP<\/a>, &mdash; \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0442\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f (critical dimension, <em>CD<\/em>), \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0449\u0435\u043b\u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (&lambda;) \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0435\u0451 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0443, numeric aperture, <em>NA<\/em>):<\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><strong><em>CD&nbsp;=&nbsp;k<\/em>*(&lambda;\/<em>NA<\/em>)<\/strong><\/p>\n<p>\u0411\u0435\u0437\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b <em>k<\/em> \u0438 <em>NA<\/em> \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c, \u043a\u0430\u043a \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e, \u0432 \u0446\u0435\u043b\u043e\u043c \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u0438 \u043a \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0435, \u0438 \u043b\u0438\u0448\u044c \u043d\u0435\u0438\u043c\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0445 \u0443\u0434\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u043e\u0442 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0438\u0442\u044c (\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 &mdash; \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c, \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 &mdash; \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c), \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0432\u044b\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 <em>CD<\/em>&nbsp;&asymp;&nbsp;&lambda;\/2. \u0412\u0440\u043e\u0434\u0435 \u0431\u044b \u044f\u0441\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u0442\u044c \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f &mdash; \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0441\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-08.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-08.800.jpeg\" alt=\"\u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445, &mdash; \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u043e\u0448\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)\" height=\"532\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445 &mdash; \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u043e\u0448\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0422\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043d\u0430\u0434 193-\u043d\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0435\u0439 \u043b\u0438\u0448\u044c \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c, \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c 157-\u043d\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u044d\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u041d\u043e \u043f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0421\u0411\u0418\u0421 \u043a \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0443 &lambda;\/2 \u0434\u043b\u044f 193-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0432\u0441\u0451 \u044f\u0441\u043d\u0435\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043a\u043e\u043f\u044f\u0449\u0438\u0439\u0441\u044f \u0432\u043e\u0440\u043e\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0441 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0439 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0443 \u043b\u0438\u043d\u0437\u0435 \u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c &laquo;\u0434\u0435\u0448\u0451\u0432\u0443\u044e&raquo; (\u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d) \u0441\u043c\u0435\u043d\u0443 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0443\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u044b\u0435.<\/p>\n<p>\u0422\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0435\u0449\u0451 \u0432 2003 \u0433. \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 5-6 \u043b\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u0430 \u0434\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043e \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0438 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0435\u0434\u043e\u043c\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e EUV-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e. \u0414\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043d\u0435 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0434\u0430\u0436\u0435, \u0430 \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d, \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0432\u0437\u0433\u043b\u044f\u0434 \u0432\u043e\u0432\u0441\u0435 \u043d\u0435 \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0430.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-09.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-09.800.jpg\" alt=\"\u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0435\u0451 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u043d\u0438\u0437\u0443), \u0442\u0440\u0451\u0445\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0441\u0430\u043c\u0443 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 (\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e) \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0438\u0437 6 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SPIE)\" height=\"492\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0435\u0451 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u043d\u0438\u0437\u0443), \u0442\u0440\u0451\u0445\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0441\u0430\u043c\u0443 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 (\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e) \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0438\u0437 6 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SPIE)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0414\u0430, \u0442\u0430\u043c \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 10 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043d\u043e \u0438\u0437 EUV-\u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439, \u0438 \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043e\u043d \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0417\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 <em>\u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043b\u0438\u043d\u0437<\/em> \u043d\u0435\u0442 \u0437\u0430 \u0438\u0445 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c, \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435\u0442, &mdash; \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c \u043a \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0443. \u041d\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0432\u0441\u0451 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0442\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e!<\/p>\n<p>\u0418\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b, \u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0432\u0448\u0438\u0441\u044c \u043f\u043e &laquo;\u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u043c\u0443&raquo;, \u0440\u0435\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0443\u0442\u0438 <em>\u0440\u0435\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e<\/em> \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0434\u0438\u043d \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043e\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0437 \u043a \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u043c \u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043d\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435, \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0438. \u041d\u0443, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440: \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 &mdash; \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e? \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c <em>\u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0445\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f<\/em> \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043b\u044e\u0431\u044b\u043c \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0435\u0433\u043e \u043e\u0442\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c <a href=\"https:\/\/glossary.ametsoc.org\/wiki\/Optically_smooth\" target=\"_blank\">\u0434\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438<\/a> \u0432 \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0432\u043e\u0441\u044c\u043c\u0443\u044e \u0434\u043e\u043b\u044e \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b (<a href=\"https:\/\/www.astronomics.com\/info-library\/astronomical-terms\/rayleigh-criterion\/\" target=\"_blank\">\u043a\u0440\u0438\u0442\u0435\u0440\u0438\u0439 \u0420\u044d\u043b\u0435\u044f<\/a>).<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-10.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-10.800.jpeg\" alt=\"\u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f EUV &mdash; \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u0432 1\/8 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1,7 \u043d\u043c (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)\" height=\"534\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f EUV &mdash; \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u0432 1\/8 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1,7 \u043d\u043c (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0430\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0451\u043d\u043d\u0443\u044e \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443, \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0430\u0431\u0441\u043e\u043b\u044e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 &mdash; \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u043c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d, \u043a \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\u0443 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u044b\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u043d\u0430\u0441 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 13,5 \u043d\u043c, &mdash; \u043d\u0435 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442. \u0418 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0435\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u041a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0434\u0435\u043b\u043e \u0441 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432\u043e\u043b\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0447\u0435\u043b\u043e\u0432\u0435\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0433\u043b\u0430\u0437\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430. \u0418 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0441 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435\u0439 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434, \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430: \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439. <em>\u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/em> \u043f\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, &mdash; \u044d\u0442\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u043a \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0435.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-11.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-11.800.jpg\" alt=\"\u041b\u0443\u0447 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 I \u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0431\u0435\u0441\u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n1 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0443\u044e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n2 \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c &theta;i \u043a \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u0438, \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0447\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 R \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0422 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)\" height=\"533\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041b\u0443\u0447 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 I \u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0431\u0435\u0441\u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n1 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0443\u044e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n2 \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c &theta;i \u043a \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u0438, \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0447\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 R \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0422 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0451\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0434\u043e\u043b\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043d\u0435\u0431\u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e \u043c\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439. \u0422\u0430\u043a, \u0432 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b \u0438\u0434\u0451\u0442 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c <a href=\"https:\/\/news.mit.edu\/2013\/a-new-way-to-trap-light-0710\" target=\"_blank\">&laquo;\u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430&raquo;<\/a> \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 <a href=\"https:\/\/fdtd.kintechlab.com\/ru\/pc\" target=\"_blank\">\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/a> (\u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 100%-\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438, \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, 0%-\u0435 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0434 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c), \u043d\u043e \u0441\u0442\u0435\u043d \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0435\u0449\u0451 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0438\u043d\u0443\u0442.<\/p>\n<p>\u0418\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043b\u044e\u0431\u043e\u043c\u0443 \u0430\u043a\u0432\u0430\u0440\u0438\u0443\u043c\u0438\u0441\u0442\u0443 \u0444\u0435\u043d\u043e\u043c\u0435\u043d <a href=\"https:\/\/www.physicsclassroom.com\/class\/refrn\/Lesson-3\/Total-Internal-Reflection\" target=\"_blank\">\u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/a> \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0436\u0435 \u0432\u0440\u044f\u0434 \u043b\u0438 \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c: \u043e\u043d \u0441\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u043f\u044b\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u0432 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0443\u044e, \u0434\u0430 \u0435\u0449\u0451 \u0438 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434 \u043b\u044e\u0431\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0430\u043c\u0438. \u0412 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435, \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u044c \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0432\u044b\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b) \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u043d\u043e &mdash; \u0440\u0435\u0447\u044c, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0438\u0434\u0451\u0442 \u043e EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f <em>\u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0447\u0435\u043c \u0443\u0433\u043e\u0434\u043d\u043e. <\/em>\u0422\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0434\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0434\u043e \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0451\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043e\u043d\u043e \u0432 \u0442\u0430\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043d\u0435 \u0434\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-12.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-12.800.jpeg\" alt=\"\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0432\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043d\u0435, \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u0438 \u043d\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0443\u0445\u0430\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Pixabay)\" height=\"450\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0432\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043d\u0435, \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u0438 \u043d\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0443\u0445\u0430\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Pixabay)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u044b \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435: \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0430\u0437 \u0432\u0440\u043e\u0434\u0435 \u043d\u0435\u043e\u043d\u0430 &mdash; \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0438\u043c\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p class=\"h3\">\u041a\u0430\u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0443<\/p>\n<p>\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 &mdash; \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e \u043e\u0442\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0440\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 &mdash; \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430, \u0418\u041a, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438 \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435) \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b. \u0418\u043c \u0432 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e\u043c \u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435 &laquo;\u043f\u0440\u043e\u0449\u0435&raquo; \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u044b (\u043a\u0430\u043a \u0442\u0435\u043d\u043d\u0438\u0441\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043c\u044f\u0447\u0438\u043a\u0443 \u043e\u0442\u0441\u043a\u0430\u043a\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442 \u043a\u0438\u0440\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438), \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044f \u0441\u043e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 &mdash; \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0440\u0435\u0448\u0451\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0440\u0435\u0447\u044c \u0438\u0434\u0451\u0442 \u043e \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u0445, &mdash; \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0414\u0430\u0436\u0435 \u0434\u043b\u044f DUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (190-195 \u043d\u043c) \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f, \u0440\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u044b \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435\u043c (<a href=\"https:\/\/www.edmundoptics.com\/knowledge-center\/application-notes\/optics\/metallic-mirror-coatings\/\" target=\"_blank\">DUV enhanced aluminium<\/a>), \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u043c 88% \u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0438\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430: \u044d\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c.<\/p>\n<p>\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430 \u0436\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0423\u0424 \u0438 \u0442\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043d\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f <a href=\"https:\/\/elementy.ru\/posters\/spectrum\/roentgen\" target=\"_blank\">\u043d\u0430 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u043a\u0435 10 \u043d\u043c<\/a>&nbsp;&mdash; \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u044b) \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0442\u043e\u043b\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u044b \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b, \u043f\u0440\u043e\u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0432 \u0441 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430, \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043e\u0442 \u043d\u0435\u0451 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f. \u0418\u043c \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 &laquo;\u043f\u0440\u043e\u0449\u0435&raquo; \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043d\u0443\u0442\u044c \u0435\u0449\u0451 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0436\u0435 (\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e \u043f\u0443\u043b\u0435 \u0432 \u0442\u0443 \u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u0443\u044e \u043a\u0438\u0440\u043f\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0443), \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b, &mdash; \u0438 \u043b\u0438\u0431\u043e \u043f\u0440\u043e\u0439\u0442\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446 \u043d\u0430\u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c, \u043b\u0438\u0431\u043e \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0442\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044e \u0435\u0433\u043e \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-13.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-13.800.jpeg\" alt=\"\u041e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 (\u0442\u0451\u043c\u043d\u043e-\u0441\u0435\u0440\u044b\u0439 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430), \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)\" height=\"1067\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 (\u0442\u0451\u043c\u043d\u043e-\u0441\u0435\u0440\u044b\u0439 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430), \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0412\u0437\u044f\u0442\u043e\u0435 \u0432 \u043a\u0430\u0432\u044b\u0447\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0432\u043e &laquo;\u043f\u0440\u043e\u0449\u0435&raquo; \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u044f\u0441\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043c\u044b\u0441\u043b &mdash; \u043a\u0430\u043a \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/www.asutpp.ru\/dispersiya-sveta.html\">\u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0438<\/a>, \u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b. \u0414\u043b\u044f \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f \u0438\u043b\u043b\u044e\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043d\u043e\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u043f\u044b\u0442\u043e\u043c \u041d\u044c\u044e\u0442\u043e\u043d\u0430 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u0421\u043e\u043b\u043d\u0446\u0430 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0438\u0437\u043c\u0443 \u043d\u0430 \u0432\u0435\u0435\u0440 \u043e\u043a\u0440\u0430\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439: \u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 (\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u044b\u0435) \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435, \u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u044b\u0435 (\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u044b\u0435) &mdash; \u0441\u043b\u0430\u0431\u0435\u0435.<\/p>\n<p>\u041a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043a EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0442\u0430\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f <em>\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u043d\u043e\u0445\u0440\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435<\/em> \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c? \u041d\u043e \u0432 \u0442\u043e\u043c-\u0442\u043e \u0438 \u0434\u0435\u043b\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0435 \u043e\u0442 \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0423\u0424 \u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c <a href=\"https:\/\/www.nist.gov\/programs-projects\/extreme-ultraviolet-optical-constants\" target=\"_blank\">\u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0442\u043d\u0435\u0435 \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c<\/a> \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0441 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c, \u0438 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u041d\u044c\u044e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u044b\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u0441\u0451 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0441\u0435\u043c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-14.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-14.800.jpeg\" alt=\"\u041d\u0435\u0431\u043e \u0417\u0435\u043c\u043b\u0438 \u0433\u043e\u043b\u0443\u0431\u043e\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0438: \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043e\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 &laquo;\u0421\u043e\u043b\u043d\u0446\u0435 &mdash; \u0433\u043b\u0430\u0437 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f&raquo; \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e, &laquo;\u043e\u043a\u0440\u0430\u0448\u0438\u0432\u0430\u044f&raquo; \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u044b\u0439 \u043d\u0435\u0431\u043e\u0441\u0432\u043e\u0434 \u0432 \u043e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0435\u0433\u043e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Unsplash)\" height=\"525\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041d\u0435\u0431\u043e \u0417\u0435\u043c\u043b\u0438 \u0433\u043e\u043b\u0443\u0431\u043e\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0438: \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043e\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 &laquo;\u0421\u043e\u043b\u043d\u0446\u0435 &mdash; \u0433\u043b\u0430\u0437 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f&raquo; \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e, &laquo;\u043e\u043a\u0440\u0430\u0448\u0438\u0432\u0430\u044f&raquo; \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u044b\u0439 \u043d\u0435\u0431\u043e\u0441\u0432\u043e\u0434 \u0432 \u043e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0435\u0433\u043e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Unsplash)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0412\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 &mdash; \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432, \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b &mdash; \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0441\u043e\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430. \u041f\u0440\u0438\u0442\u043e\u043c \u0441\u0430\u043c\u0438 \u044d\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 <em>\u0434\u0438\u043f\u043e\u043b\u0438<\/em> &mdash; \u043f\u0430\u0440\u044b \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0443\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0438\u043c\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043e\u0432 (\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0437\u0430\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0435 \u044f\u0434\u0440\u043e \u043f\u043b\u044e\u0441 \u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0437\u0430\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0440\u0431\u0438\u0442\u0430\u043b\u0438), \u0438 \u0434\u0438\u043f\u043e\u043b\u0438 \u044d\u0442\u0438 \u0441\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435, \u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0439 \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0443 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0414\u0430, \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a: \u0434\u0438\u043f\u043e\u043b\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u0435\u043d &mdash; \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0438 \u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u044b \u0432 \u043d\u0451\u043c \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e \u0441\u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b, &mdash; \u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0435 <a href=\"http:\/\/www.fn.bmstu.ru\/data-physics\/library\/physbook\/tom3\/ch2\/texthtml\/ch2_1_text.htm\" target=\"_blank\">\u043e\u043d \u0442\u0435\u043c \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0451\u0442<\/a>.<\/p>\n<p>\u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f\u0441\u044c \u0432 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435, \u043a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0430, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0432\u043e\u043b\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432\u044b\u043d\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0443 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0443 \u0434\u0438\u043f\u043e\u043b\u0438 &mdash; \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0451\u0442 \u0442\u0435\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438. \u041a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043e\u043b\u043d \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f <em>\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442,<\/em> \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0443\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0430\u0442\u044c <a href=\"https:\/\/phys.bspu.by\/static\/um\/phys\/meh\/1mehanika\/pos\/glava10\/10_4.pdf\" target=\"_blank\">\u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u0443\u044e \u0438 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u043e\u0432\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438<\/a> \u0432\u043e\u043b\u043d. \u0418\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u043c\u0438, <em>\u043f\u043e\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e \u043c\u043e\u043d\u043e\u0445\u0440\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c<\/em> (\u0441 \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439) \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043e\u043b\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0435 &mdash; \u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0432 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 (\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f <em>\u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439<\/em> \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c, \u043e \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c <a href=\"http:\/\/nuclphys.sinp.msu.ru\/enc\/e028.htm\" target=\"_blank\">\u0440\u0430\u0437\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440 \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439<\/a>) \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n<p><\/p>\n<div align=\"center\"><img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-15.gif\" alt=\"\" \/>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0412\u043e\u043b\u043d\u0430, \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0441 \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u0431\u0435\u0437 \u043d\u0435\u0451 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ISVR)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0418\u0437\u0443\u0447\u0430\u044f \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445, \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0435\u0439 \u0432 \u0446\u0435\u043b\u043e\u043c \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u043d\u0435\u0431\u0440\u0435\u0447\u044c, \u0445\u043e\u0442\u044f \u0438 \u0442\u0430\u043c \u043d\u0435\u0440\u0435\u0434\u043a\u043e \u043e\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f <a href=\"http:\/\/ens.tpu.ru\/POSOBIE_FIS_KUSN\/%D0%9A%D0%BE%D0%BB%D0%B5%D0%B1%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%8F%20%D0%B8%20%D0%B2%D0%BE%D0%BB%D0%BD%D1%8B.%20%D0%93%D0%B5%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%82%D1%80%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B0%D1%8F%20%D0%B8%20%D0%B2%D0%BE%D0%BB%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D1%8F%20%D0%BE%D0%BF%D1%82%D0%B8%D0%BA%D0%B0\/10-2.htm\" target=\"_blank\">\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439<\/a> (\u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0441 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f &mdash; \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f). \u041d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u043e \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u0447\u043d\u043e \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u044f\u0432\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c. \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 <a href=\"https:\/\/www.asutpp.ru\/pokazatel-prelomleniya.html\" target=\"_blank\">\u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f<\/a> \u043a\u0430\u043a \u0431\u0435\u0437\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 <em>\u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439<\/em> \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 &mdash; \u0438 <a href=\"https:\/\/science.fandom.com\/ru\/wiki\/%D0%A0%D0%B5%D0%BD%D1%82%D0%B3%D0%B5%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D1%81%D0%BA%D0%B0%D1%8F_%D0%BE%D0%BF%D1%82%D0%B8%D0%BA%D0%B0_%D0%BF%D1%80%D0%B5%D0%BB%D0%BE%D0%BC%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D1%8F\" target=\"_blank\">\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u043c<\/a>:<\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><strong><em>n<\/em> = 1 &ndash; &delta; &ndash; <em>i<\/em>&beta;<\/strong><\/p>\n<p>\u041c\u043d\u0438\u043c\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0437\u0430\u0442\u0443\u0445\u0430\u043d\u0438\u044f &beta; \u043e\u0442\u0432\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0437\u0430 <em>\u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435<\/em> \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0430 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c (1 &ndash; &delta;) \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 <em>\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u044e <\/em>\u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0432 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0435 (\u0442. \u0435. \u0440\u043e\u0432\u043d\u043e 1,0), \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0431\u0435\u0437\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430 &delta; \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u043d\u0430 \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439. \u0422\u0430\u043a \u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442, \u043f\u0440\u0438\u0447\u0451\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f &delta; \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043c\u0430\u043b\u0430 &mdash; \u0438\u0441\u0447\u0438\u0441\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044e \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043e\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u044b (10<sup>&ndash;5<\/sup>&mdash;10<sup>&ndash;6<\/sup>).<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-16.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-16.800.jpeg\" alt=\"\u041a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0436\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0445 \u0438 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u0430\u0445, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446, \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0440\u0435\u0433\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imperial College London)\" height=\"471\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0436\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0445 \u0438 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u0430\u0445, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446, \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imperial College London)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d \u0438 \u0441\u043e\u0441\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441 \u043d\u0438\u043c \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 <em>\u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, <\/em>\u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u044f \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u044b, &mdash; \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043c, \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u044b \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u043d\u0443\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (\u0442\u0435\u0445 \u0436\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u0445): \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0442\u0430\u043a \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0447\u0451\u0442\u043a\u0438\u043c, \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439, \u0435\u0434\u0432\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0430\u044f\u0445 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p class=\"h3\">Bragg me about it<\/p>\n<p>\u041d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u0441\u0451-\u0442\u0430\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e\u0442 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0445\u043e\u0442\u044f \u0431\u044b \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. \u041a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f <em>R<\/em> &mdash; \u0438\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u043c\u0438, \u0434\u043e\u043b\u044e \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f <em>n<\/em><sub>1<\/sub> \u0438 <em>n<\/em><sub>2 <\/sub>, \u043f\u0440\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c (\u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u043c \u043a \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430) \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430, &mdash; \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f <a href=\"http:\/\/hyperphysics.phy-astr.gsu.edu\/hbase\/phyopt\/freseq.html\" target=\"_blank\">\u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0430 \u0424\u0440\u0435\u043d\u0435\u043b\u044f<\/a>:<\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><strong><em>R<\/em> = (|<em>n<\/em><sub>1 <\/sub>&ndash; <em>n<\/em><sub>2<\/sub>| \/ |<em>n<\/em><sub>1 <\/sub>&nbsp;+ <em>n<\/em><sub>2<\/sub>|)<sup>2<\/sup><\/strong><\/p>\n<p>\u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e, \u0438\u043b\u043b\u044e\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044f \u044d\u0442\u0443 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0443, \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u044b\u0439 \u0441\u0432\u0435\u0442, \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e <em>n<\/em><sub>1&nbsp;<\/sub>=&nbsp;1,0 (\u0432 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0435), \u0430 <em>n<\/em><sub>2&nbsp;<\/sub>=&nbsp;1,5 (\u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f), \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 <em>R&nbsp;<\/em>=&nbsp;0,04, \u0438\u043b\u0438 4%. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043a\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0442\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u043c\u044b\u0441\u043b \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043e\u0442 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0435\u0451 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0430\u0441\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0442\u0443 \u0436\u0435 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0443 (\u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u043d\u0435\u0431\u0440\u0435\u0447\u044c).<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-17.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-17.800.jpeg\" alt=\"\u0414\u0440\u0435\u0432\u043d\u0435\u0435\u0433\u0438\u043f\u0435\u0442\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0431\u0440\u043e\u043d\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e: \u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0426\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e, \u043e\u043a. 2040-1750 \u0433. \u0434\u043e \u043d. \u044d. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Christie's)\" height=\"1345\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0414\u0440\u0435\u0432\u043d\u0435\u0435\u0433\u0438\u043f\u0435\u0442\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0431\u0440\u043e\u043d\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e: \u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0426\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e, \u043e\u043a. 2040-1750 \u0433. \u0434\u043e \u043d. \u044d. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Christie's)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0418\u0442\u043e\u0433\u043e &mdash; \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 8%. \u041d\u0435\u0433\u0443\u0441\u0442\u043e, \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e, &mdash; \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0447\u0435\u043b\u043e\u0432\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u043f\u0435\u0440\u0432\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u043b\u043e \u0446\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 (\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0448\u0435), \u0430 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u043d\u0430\u0448\u043b\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 <em>\u0430\u043c\u0430\u043b\u044c\u0433\u0430\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c<\/em> \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b &mdash; \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442\u043d\u0443\u044e \u0438\u0445 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430; \u0441\u043f\u0435\u0440\u0432\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0430, \u0430 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0435 \u043a \u043d\u0430\u0448\u0438\u043c \u0434\u043d\u044f\u043c &mdash; \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f. \u041d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430, \u0430 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0431\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442 \u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441 \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u043c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u043c\/\u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u043c \u0423\u0424?<\/p>\n<p>\u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u043b\u0430 \u0431\u044b (\u0435\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043d\u0435 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u043a\u0430, \u043e \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0447\u044c \u043f\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442 \u0447\u0443\u0442\u044c \u043d\u0438\u0436\u0435) \u043e\u043f\u0438\u0441\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043a\u0430\u0442\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f. \u0414\u043b\u044f \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c, \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, <a href=\"https:\/\/www.researchgate.net\/publication\/321735641_EUV_Bragg_reflectors_with_photonic_superlattices\" target=\"_blank\">&delta;, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 &ndash;0,076, \u0430 \u043c\u043d\u0438\u043c\u0430\u044f, &beta;, \u0435\u0434\u0432\u0430 \u0434\u043e\u0442\u044f\u0433\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e 0,0064<\/a>. \u0414\u043b\u044f \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0430, \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, &delta;&nbsp;=&nbsp;&beta;&nbsp;=&nbsp;0, \u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f <em>R,<\/em> \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u0432\u0435\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f EUV-\u043b\u0443\u0447\u0430 \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u043f\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0435 \u0424\u0440\u0435\u043d\u0435\u043b\u044f \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0436\u0430\u043b\u043a\u0438\u0435 0,14%.<\/p>\n<p>\u0421 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 <em>\u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b:<\/em> \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0438\u0437 10 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f 99,86% \u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0434\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0432 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0438\u0437\u0440\u0435\u0434\u043a\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u044b. \u0418 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b\u043e \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 <em>\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e <\/em>\u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u043f\u044b\u0442\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c &mdash; \u0437\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0445 \u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-18.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-18.800.jpg\" alt=\"\u041d\u0435\u0442 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f: \u0434\u0432\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0444\u0430\u0437\u0435, \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f &mdash; \u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0443\u044e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Angstrom Engineering)\" height=\"537\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041d\u0435\u0442 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f: \u0434\u0432\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0444\u0430\u0437\u0435, \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f &mdash; \u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0443\u044e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Angstrom Engineering)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a \u0441\u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e, \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0434\u0443\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u0430, \u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c EUV-\u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u0440\u0438\u0448\u043b\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u0430\u043a <em>\u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f.<\/em> \u0414\u0430-\u0434\u0430, \u0442\u0430 \u0441\u0430\u043c\u0430\u044f, \u0441 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0432 DUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0431\u043e\u0440\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u0438 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a. \u0422\u0443\u0442 \u0432\u0441\u0451 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e: \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u043c\u043e\u043d\u043e\u0445\u0440\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c, \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0443\u044e, <em>\u0435\u0441\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u043b\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0444\u0430\u0437\u0435<\/em> (\u0441\u0438\u043d\u0444\u0430\u0437\u043d\u043e) &mdash; \u0442. \u0435. \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u044b \u0438 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c\u044b \u0443 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442.<\/p>\n<p>\u0421\u0430\u043c \u043f\u043e \u0441\u0435\u0431\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0432 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0435 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0438\u043d\u0444\u0430\u0437\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 &mdash; \u0447\u0443\u0442\u044c \u043d\u0438\u0436\u0435 \u043c\u044b \u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0435\u043c, \u043a\u0430\u043a \u043e\u043d \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0438 \u0441 \u043a\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 13,5-\u043d\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e &mdash; \u0432\u043e\u0442 \u0443\u0434\u0430\u0447\u0430! &mdash; <em>\u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438<\/em> \u0435\u0441\u0442\u044c \u0448\u0430\u043d\u0441 \u043e\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u0437\u0430\u0432\u0435\u0434\u043e\u043c\u043e \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0444\u0430\u0437\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u044c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c. &laquo;\u0422\u043e\u0442, \u043a\u0442\u043e \u043d\u0430\u043c \u043c\u0435\u0448\u0430\u0435\u0442, \u0442\u043e\u0442 \u043d\u0430\u043c \u0438 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0436\u0435\u0442&raquo; &mdash; \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0434\u0435\u0432\u0438\u0437 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0438 \u043a EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0436\u0435.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-19.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-19.800.jpg\" alt=\"\u0424\u0430\u0437\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 &pi;\/2 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Georgia State University)\" height=\"364\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0424\u0430\u0437\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 &pi;\/2 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Georgia State University)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p><a href=\"http:\/\/hyperphysics.phy-astr.gsu.edu\/hbase\/phyopt\/interf.html#c2\" target=\"_blank\">\u041a\u0430\u043a \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e<\/a>, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u0430\u044f \u0432\u043e\u043b\u043d\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0441 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c, \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0444\u0430\u0437\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0443\u0447\u0430 \u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 &pi;\/2. \u0418 \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e \u043b\u0443\u0447 \u0448\u0451\u043b \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0441 \u0431&oacute;\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0437\u0438\u043b\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b, \u0437\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043b\u0435\u0436\u0438\u0442 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u043c <em>n,<\/em> \u0444\u0430\u0437\u0430 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 &mdash; \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 <a href=\"https:\/\/www.rp-photonics.com\/bragg_mirrors.html\" target=\"_blank\">\u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e<\/a>, \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0430\u043a \u043f\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0441 <a href=\"https:\/\/serc.carleton.edu\/msu_nanotech\/methods\/BraggsLaw.html\" target=\"_blank\">\u0437\u0430\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c \u0411\u0440\u044d\u0433\u0433\u0430<\/a>, \u0432\u044b\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0435\u0449\u0451 \u0432 1913 \u0433. \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u0422\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442\u044c \u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434 \u0441 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 (\u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c <em>n, <\/em>1<em>&nbsp;<\/em>&ndash;<em>&nbsp;<\/em>&delta;, \u0440\u0430\u0432\u043d\u0430 1,076) \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (1<em>&nbsp;<\/em>&ndash;<em>&nbsp;<\/em>&delta;<em>&nbsp;<\/em>=&nbsp;1,001). \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f &mdash; \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e &frac14; \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 13,5 \u043d\u043c \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 &asymp; 3,4 \u043d\u043c).<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-20.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-20.800.jpg\" alt=\"\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u044c \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Manx Precision Optics)\" height=\"800\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u044c \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Manx Precision Optics)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u0435\u0435, \u0442\u043e \u043d\u0430\u0434\u043e \u043f\u0440\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0451\u0442 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434, \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0438\u0437 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0432\u0438\u0437\u043d\u0443 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b. \u0418\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u043c\u0438, \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c <em>\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u0443\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/em> \u043f\u043e \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0443 \u043d\u0430 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043c\u0430\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445 <em>\u0432 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0438 \u0441\u0430\u043d\u0442\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432<\/em>. \u041d\u0435\u0443\u0434\u0438\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u043e \u0446\u0435\u043d\u0435 \u0441\u043e\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043c\u043e \u0441 \u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c\u043a\u0438\u043c \u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043a\u0430\u0440\u043e\u043c.<\/p>\n<p>\u0427\u0442\u043e \u0436\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c \u043b\u0443\u0447\u043e\u043c? \u041e\u043d \u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u0438 \u0435\u0434\u0432\u0430-\u0435\u0434\u0432\u0430, \u043d\u0430 \u0442\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 0,14% \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043d\u0435\u0433\u043e, \u043c\u0435\u043d\u044f\u044f \u0444\u0430\u0437\u0443 \u043d\u0430 &pi;\/2. \u0414\u0430\u043b\u0435\u0435 \u043b\u0443\u0447 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d-\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 <em>\u0431\u0435\u0437 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u0430\u0437\u044b,<\/em> \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043e\u043d \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u043b \u0442\u043e\u043b\u0449\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f &lambda;\/4 (\u0433\u0434\u0435 &lambda; = 13,5 \u043d\u043c \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435), \u0444\u0430\u0437\u0430 \u043a \u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0443 <em>\u0443\u0441\u043f\u0435\u043b\u0430 \u0441\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f<\/em> (\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0442\u043e\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f) <em>\u043d\u0430 &frac14;.<\/em> \u0418\u0442\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d-\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0430\u044f \u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u044f \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0443\u0447\u0430, \u043f\u0440\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442 \u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0442\u0443 \u0436\u0435 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u044c\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u0443\u044e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0443 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 (\u0442. \u0435. <em>\u0435\u0449\u0451 +&frac14; \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/em>) &mdash; \u0438 \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442 \u0432 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c <em>\u0441 \u0442\u0435\u043c \u0436\u0435 \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u043e\u043c \u0444\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 &pi;\/2, <\/em>\u0447\u0442\u043e \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u044f. \u0418 \u0442\u0430\u043a \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-21.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-21.800.jpeg\" alt=\"\u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 NA \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0430\u0440\u044b \u0430\u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0431\u043b\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043a\u0442\u044e\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Laser Focus World)\" height=\"828\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 NA \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0430\u0440\u044b \u0430\u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0431\u043b\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043a\u0442\u044e\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Laser Focus World)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043d\u0430\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u043e\u0434\u0438\u043d \u043d\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 40-50 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0451\u0442 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u0432 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u0444\u0430\u0437\u0435 \u0441\u043b\u0430\u0431\u0435\u043d\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043e\u043b\u043d \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f <a href=\"https:\/\/deepforest.substack.com\/p\/the-physics-of-euv-lithography\" target=\"_blank\">70%-\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/a> \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0446\u0435\u043b\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c. \u0415\u0449\u0451 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 <a href=\"https:\/\/spie.org\/publications\/pm146_122_euvl?SSO=1\" target=\"_blank\">\u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d-\u0431\u0435\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435<\/a> \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430, \u043d\u043e \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043a\u0441\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0431\u0435\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u044f \u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442. \u0412\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430 \u0432 70% \u0432 \u043b\u044e\u0431\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0431\u0435\u0441\u0441\u043f\u043e\u0440\u043d\u043e \u0432\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f &mdash; \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0432\u0441\u0451 \u0441 0,14% \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0431\u043e\u043b\u0432\u0430\u043d\u043a\u0438.<\/p>\n<p>\u041a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b, \u0432\u043e\u0442 \u043e\u043d\u043e, \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u0435, &mdash; \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043b\u0438\u0448\u044c \u043f\u043e\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443!<\/p>\n<p class=\"h3\">\u0421\u0442\u0440\u0438\u0436\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0430\u0447\u0430\u0442\u0430<\/p>\n<p>\u041d\u0435 \u0442\u0443\u0442-\u0442\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e: \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 EUV-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043e\u043a \u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u0430\u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443, \u0438 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044c (\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443) \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0434\u0430\u043b \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438 \u043f\u043e\u0434 \u0447\u0451\u0442\u043a\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0430\u043c\u0438 &mdash; \u0438\u043d\u0430\u0447\u0435 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u043e\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-22.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-22.800.jpeg\" alt=\"\u041f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 (\u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0444\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430) \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0432 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0443; \u043c\u0430\u0441\u0441\u0430 &mdash; 1,5 \u0442\u043e\u043d\u043d\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)\" height=\"533\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 (\u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0444\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430) \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0432 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0443; \u043c\u0430\u0441\u0441\u0430 &mdash; 1,5 \u0442\u043e\u043d\u043d\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0410 \u0440\u0430\u0437 \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b 10, \u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0435 \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442 0,7 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430, \u0434\u043e \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u0434\u043e\u0431\u0435\u0440\u0451\u0442\u0441\u044f 0,7*0,7*&hellip;*0,7&nbsp;=&nbsp;0,7<sup>10&nbsp;<\/sup>&asymp;&nbsp;0,0282, \u0442. \u0435. 2,82% \u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430. \u042d\u0442\u043e, \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e, \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c 0,14% \u043e\u0442 \u043e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430, <a href=\"https:\/\/www.sciencedirect.com\/topics\/materials-science\/extreme-ultraviolet-lithography\" target=\"_blank\">\u043d\u043e \u0432\u0441\u0451 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e \u0441\u043a\u0443\u0434\u043d\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e<\/a>.<\/p>\n<p>\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0436\u0435 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c \u0441\u043d\u043e\u0432\u0430, \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0423\u0424-\u043b\u0443\u0447\u0438 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b. \u0417\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0431\u0435\u0437\u043e\u0433\u043b\u044f\u0434\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f, \u0432 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0443\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0432\u0441\u0451 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438; \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u0438\u0445 \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u043e \u0438\u0441\u043a\u0430\u0437\u0438\u0442\u0441\u044f &mdash; \u0438 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u0441\u044f, \u043d\u0435 \u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0447\u0438\u043f\u044b \u0441 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0411\u0435\u0437\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442, \u043d\u043e \u043d\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435, \u043d\u0438 \u0434\u0435\u0448\u0435\u0432\u043b\u0435 \u044d\u0442\u043e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043d\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-23.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-23.800.jpeg\" alt=\"\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0440\u0443\u0447\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430! (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)\" height=\"1067\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0440\u0443\u0447\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430! (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0415\u0449\u0451 \u043e\u0434\u0438\u043d \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b &mdash; \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e <em>\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0430,<\/em> \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0440\u0438\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 (\u0432 \u0443\u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0451\u043d\u043d\u043e\u043c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0440\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0441 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c) \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0447\u0438\u043f\u0430. \u0418\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f DUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 &mdash; \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441: \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0441 \u0445\u0440\u043e\u043c\u043e\u0432\u044b\u043c \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0430\u0445, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a.<\/p>\n<p>\u0427\u0442\u043e\u0431\u044b \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0443\u044e \u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 \u043e\u0442 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043e\u043a, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u043e \u0438\u0441\u043a\u0430\u0437\u044f\u0442 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0451\u0442 \u043a \u043f\u043e\u0440\u0447\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0447\u0438\u043f\u0430 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 <em>\u043f\u043b\u0435\u0432\u0430\u043c\u0438<\/em> (<a href=\"https:\/\/spie.org\/publications\/pm146_78_pellicles?SSO=1\" target=\"_blank\">pellicles<\/a>) &mdash; \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1 \u043c\u043a\u043c, \u043f\u0440\u0438\u043f\u043e\u0434\u043d\u044f\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430\u0434 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 5-10 \u043c\u043c &mdash; \u0437\u0430\u0432\u0435\u0434\u043e\u043c\u043e \u0432\u043d\u0435 \u0444\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-24.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-24.800.jpeg\" alt=\"\u041f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0443\u0434\u0430\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0435\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 ASML \u043b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)\" height=\"474\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0443\u0434\u0430\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0435\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 ASML \u043b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043a\u0430 (\u0430 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0432 &laquo;\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435&raquo; \u043e\u043d\u0438 \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442\u0441\u044f, \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0438\u0445 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e \u0432 \u043a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u043e \u043d\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e) \u0441\u0430\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0435\u0432\u0443, \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0439 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, &laquo;\u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435&raquo; \u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043d\u0435\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438\u043c \u0438 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u044b\u0442\u044b\u043c, \u0438 \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043d\u043e\u0441\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0435\u0446\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d, \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b. \u041f\u043e \u043d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043e\u043a \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0443 \u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 &mdash; \u044d\u0442\u043e \u0434\u0435\u0448\u0435\u0432\u043b\u0435 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438 \u043e\u0447\u0438\u0449\u0430\u0442\u044c \u0441\u0430\u043c\u0443 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043a\u0430\u043a \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0437 \u0443\u0436\u0435 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c, \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0439, \u043d\u0438 \u043e \u043a\u0430\u043a\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0441\u0432\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u043c \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0447\u0438 \u043d\u0435 \u0438\u0434\u0451\u0442. \u041c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d <em>\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435<\/em> &mdash; \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0441 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u043d\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0447\u0438\u043f\u0430. \u041f\u0440\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043f\u0440\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0451\u0442, \u0447\u0442\u043e \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u0430\u0434\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 <em>\u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c.<\/em> \u0410 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/next-euv-issue-mask-3d-effects\/\" target=\"_blank\">\u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435<\/a> \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043f\u043e\u0434\u043d\u044f\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430\u0434 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0442\u0430\u043d\u0442\u0430\u043b\u0430.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-25.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-25.800.jpg\" alt=\"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c 6&deg; EUV-\u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435\u043c \u0438\u0437 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f (Ru) 2-\u043d\u043c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b, \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)\" height=\"510\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c 6&deg; EUV-\u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435\u043c \u0438\u0437 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f (Ru) 2-\u043d\u043c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b, \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041c\u0430\u043b\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e: \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442 70% \u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c &mdash; 0%, \u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0435 \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0439 \u0435\u0451 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e. \u0427\u0442\u043e, \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430\u043c \u043d\u0435\u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432. \u0422\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0438 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u043a\u0430\u043a \u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0438\u0437\u043e\u0449\u0440\u0451\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0430.<\/p>\n<p>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 <a href=\"https:\/\/deepforest.substack.com\/p\/the-physics-of-euv-lithography\" target=\"_blank\">\u043d\u0430\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0451\u0442<\/a>: \u044d\u0442\u043e Applied Materials, Asahi Glass Co (AGC) \u0438 Hoya. \u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u0434\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u0432\u043d\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043a\u043b\u0430\u0434 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u0435\u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432, \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 DUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u043b\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u043c. \u0410 \u0435\u0441\u043b\u0438 DUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c \u0432 100 \u0442\u044b\u0441. \u0434\u043e\u043b\u043b. (\u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430, \u0438\u0445 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0448\u0442\u0443\u043a \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u0443 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0443 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438), \u0442\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u043e, &mdash; \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 300 \u0442\u044b\u0441.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u0440\u0430\u043d\u043d\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u044f\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u044b \u043d\u0430\u0434\u0435\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043e\u043a \u0432 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e, \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0430, \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c (\u0432\u0441\u043a\u0438\u043f\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0434\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u043e\u043b\u043e\u0432\u043e &mdash; \u0442\u043e\u0442 \u0435\u0449\u0451 \u043f\u044b\u043b\u0435\u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440, \u043d\u043e \u043e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0447\u0443\u0442\u044c \u043f\u043e\u0437\u0436\u0435), \u0438 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0435\u043d\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c. \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432\u0435\u043b\u0438 \u0441 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u0438\u043d\u044b 2010-\u0445 ASML, IBM, Samsung Electronics \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438, \u043d\u043e \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u0430\u0434\u0435\u043a\u0432\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0446\u0435\u043d\u044b \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u043b\u043e.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-26.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-26.800.jpeg\" alt=\"\u0421\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430 PELLICLE \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u043d\u044b\u043d\u0435 Mitsui (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Mitsui Chemicals)\" height=\"556\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0421\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430 PELLICLE \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u043d\u044b\u043d\u0435 Mitsui (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Mitsui Chemicals)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2021 \u0433. ASML <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/euv-pellicles-finally-ready\/\" target=\"_blank\">\u0437\u0430\u044f\u0432\u0438\u043b\u0430<\/a> \u043e \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0435\u044e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u043e\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 50 \u043d\u043c, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432 \u0434\u043e 600-1000&nbsp;&deg;\u0421 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 90% \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c. \u041d\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0431\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e EUV-\u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u0434 200 \u0412\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0443\u044e \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0443 <em>\u0434\u0432\u0430\u0436\u0434\u044b:<\/em>&nbsp;\u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 \u0438 \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043d\u0435\u0451. \u0412\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 ASML (\u043d\u044b\u043d\u0435 \u0435\u0451 <a href=\"https:\/\/jp.mitsuichemicals.com\/en\/release\/2021\/2021_0526.htm\" target=\"_blank\">\u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0443\u0436\u0435 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f Mitsui<\/a>) \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0441\u0435\u0431\u044f \u043b\u044c\u0432\u0438\u043d\u0443\u044e \u0434\u043e\u043b\u044e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u043e \u0438 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 400-\u0412\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u043f\u0440\u0438\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 99,8% \u0441\u0432\u043e\u0438 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438, \u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e &mdash; \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0438 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p class=\"h3\">\u0413\u043e\u0440\u044f\u0447\u0438\u0439 \u0446\u0435\u0445<\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 &mdash; \u043f\u043e\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0431\u0438\u0447 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0440\u0430\u0445, \u043e\u0441\u0432\u0430\u0438\u0432\u0430\u044f \u044d\u0442\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e, Samsung Electronics \u0438 TSMC \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u043b\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0431\u0435\u0437 \u043f\u043b\u0435\u0432 &mdash; \u0438 \u0438\u043c\u0435\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0421\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u044b\u043b\u0438\u043d\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0434\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0430, \u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b \u043b\u0438\u0448\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 EUV-\u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u043c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 200 \u0412\u0442. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 Imec \u0438 Canatu <a href=\"https:\/\/canatu.com\/company\/carbon-age-news\/canatu-free-standing-cnt-membrane-creates-unique-value-for-the-euv-applications\/\" target=\"_blank\">\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f<\/a> \u043d\u0430\u0434 \u043f\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u043e 600 \u0412\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0434\u043d\u044f\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0435 \u0434\u043e 300 \u0412\u0442.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-27.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-27.800.jpeg\" alt=\"\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)\" height=\"722\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0430 &mdash; \u043e\u0442 \u043d\u0435\u0451 \u0432\u0435\u0434\u044c \u043e\u0434\u043d\u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0441\u043c. \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b)? \u0412\u0441\u0451 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e: \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u0430 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u043b\u0451\u043d\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430: \u0447\u0435\u043c \u0441\u043b\u0430\u0431\u0435\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 (\u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f), \u0442\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0448\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c &mdash; \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0443\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043d\u0430 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435; \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435&nbsp;\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438;&nbsp;\u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u0410 \u044d\u0442\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e,&nbsp;\u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0441\u0435\u0431\u0435\u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0447\u0438\u043f\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430&nbsp;\u0432\u0441\u0435\u0439 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438. \u0427\u0435\u043c \u0434\u0435\u0448\u0435\u0432\u043b\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0421\u0411\u0418\u0421 \u043d\u0430 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430\u0445, \u0442\u0435\u043c&nbsp;\u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0443\u0442 \u0433\u0430\u0434\u0436\u0435\u0442\u044b \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \"5 \u043d\u043c\"&nbsp;\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435, \u0442\u0435\u043c \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0437\u0430\u0439\u043c\u0451\u0442 \u0432\u043e\u0437\u0432\u0440\u0430\u0442 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e&nbsp;\u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0443\u044e EUV-\u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443, \u0442\u0435\u043c \u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u0435 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u044b \u0441\u043c\u043e\u0433\u0443\u0442&nbsp; \u043d\u0430\u0447\u0430\u0442\u044c&nbsp;\u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 &mdash; \u0438 \u0442\u0435\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435&nbsp;\u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \"\u0437\u0430\u043a\u043e\u043d \u041c\u0443\u0440\u0430\" \u0432 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437 \u043e\u043a\u0430\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0430\u0441\u0451\u043d.<\/p>\n<p>\u041d\u043e \u0432\u043e\u0442 \u043a\u0430\u043a\u0430\u044f \u0448\u0442\u0443\u043a\u0430: \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 ASML&nbsp;TWINSCAN NXE:3600D \u0432\u044b\u0434\u0430\u0451\u0442 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e <a href=\"https:\/\/www.asml.com\/en\/products\/euv-lithography-systems\/twinscan-nxe-3600d\" target=\"_blank\">160 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441<\/a>. \u0422\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0435\u043d\u0435\u0446&nbsp;\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 DUV-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 TWINSCAN NXT:2000i, \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u043f\u0435\u043a\u0430\u0435\u0442&nbsp;300-\u043c\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 38 \u043d\u043c&nbsp;(<a href=\"https:\/\/www.anandtech.com\/show\/13143\/asml-ships-twinscan-nxt2000i-scanner-7nm-5nm\" target=\"_blank\">\u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0435\u0433\u043e<\/a>&nbsp;\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0421\u0411\u0418\u0421 \u043f\u043e \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c &laquo;7 \u043d\u043c&raquo; \u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 &laquo;5 \u043d\u043c&raquo;) \u0432 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435 <a href=\"https:\/\/www.asml.com\/en\/products\/duv-lithography-systems\/twinscan-nxt2000i\" target=\"_blank\">275 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446 \u0432 \u0447\u0430\u0441<\/a>.<\/p>\n<p>\u041a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b, \u0432 \u0447\u0451\u043c \u0442\u0443\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430? \u0414\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0431\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c&nbsp;\u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f &mdash; \u0438 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e&nbsp;\u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0451\u0442! \u041d\u043e \u0443\u0432\u044b: \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u0443\u0441\u043f\u0435\u043b \u0443\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439&nbsp;\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c, \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u0432 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \"\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\" \u043d\u0435 \u0431\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-28.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-28.800.jpeg\" alt=\"\u0412\u0441\u0435 \u0443\u0445\u0438\u0449\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)\" height=\"531\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0412\u0441\u0435 \u0443\u0445\u0438\u0449\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u043c, \u0447\u0442\u043e \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u0451\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e EUV-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u043d\u0435\u0438\u043c\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u0430. \u0414\u043b\u044f \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0432 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0445\u043e\u0442\u0432\u043e\u0440\u043d\u043e \u043c\u0430\u043b\u0430 &mdash; <a href=\"https:\/\/web.archive.org\/web\/20150710163014\/http:\/www.sematech.org\/meetings\/archives\/litho\/8653\/pres\/Keynote3_Kim_Hynix.pdf\" target=\"_blank\">\u043d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 0,02%<\/a> \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u043e\u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d. \u0418\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 200 \u0412\u0442, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 1 \u041c\u0412\u0442 (1000 \u043a\u0412\u0442) <em>\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a \u0443\u0437\u043b\u0443 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f 13,5-\u043d\u043c \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430.<\/em> \u0421\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0447\u0443\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c 500 \u043a\u0412\u0442, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 DUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442 \u0441 193-\u043d\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u043d\u0443\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0440\u043e\u0432\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a!<\/p>\n<p>\u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u0443\u0437\u0435\u043b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f 13,5-\u043d\u043c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 &mdash; \u043d\u0430 \u0440\u0435\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0433\u043b\u0435\u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 (CO<sub>2<\/sub>) \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u043e\u0445\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 (<a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/knowledge_centers\/manufacturing\/lithography\/euv\/\" target=\"_blank\">\u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c 25 \u043c\u043a\u043c<\/a>) \u043a\u0430\u043f\u0435\u043b\u0435\u043a \u0440\u0430\u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e, \u043e\u0447\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442 \u043c\u0430\u043b\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043e\u043b\u043e\u0432\u0430. \u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u0433\u043e\u0440\u044f\u0447\u0435\u0439 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043e\u043b\u043e\u0432\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0441 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-29.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-29.800.jpeg\" alt=\"\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439, 7332 \u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043a\u0430\u0431\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 17 \u0442\u043e\u043d\u043d &laquo;\u0436\u0438\u0432\u043e\u0433\u043e&raquo; \u0432\u0435\u0441\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: TRUMPF)\" height=\"377\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439, 7332 \u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043a\u0430\u0431\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 17 \u0442\u043e\u043d\u043d &laquo;\u0436\u0438\u0432\u043e\u0433\u043e&raquo; \u0432\u0435\u0441\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: TRUMPF)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u044f EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0432\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0451\u043c\u0430: \u0441\u043f\u0435\u0440\u0432\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043b\u044e\u0449\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043f\u043b\u044e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u0441\u043a, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438, \u0430 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441 \u0443\u0436\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0434\u0438\u0441\u043a \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0447\u043a\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b. \u0422\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 (\u0434\u043e\u043b\u044f \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0430\u043f\u043b\u0438, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f) \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0441 0,33% \u0434\u043b\u044f \u043e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/www.optica-opn.org\/home\/articles\/volume_29\/march_2018\/features\/euv_light_sources_for_next-gen_lithography\/\" target=\"_blank\">\u0434\u043e 10% \u0434\u043b\u044f \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e<\/a>. \u042f\u0441\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0430\u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0435 \u043a \u0442\u043e\u0447\u043a\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c <a href=\"https:\/\/www.laserfocusworld.com\/optics\/article\/16566714\/optics-for-scanning-multilayer-mirrors-enable-nextgeneration-euv-lithography\" target=\"_blank\">\u043f\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437 \u0432 \u0433\u043e\u0434<\/a>, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0438 \u043a\u0430\u043f\u043b\u0438 \u043e\u043b\u043e\u0432\u0430, \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043e\u043d\u044b.<\/p>\n<p>\u0411\u0435\u0437\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0445\u043e\u0447\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0418 \u0431\u0435\u0437 \u0442\u043e\u0433\u043e EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/euvs-new-problem-areas\/\" target=\"_blank\">\u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043b\u0438\u0448\u044c 70-80% \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438<\/a> \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a DUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0432\u044b\u0448\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0443\u044e 90%-\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0421\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0447\u0430\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043e\u043a \u0438 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435, \u043f\u043e \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-30.jpeg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-30.800.jpeg\" alt=\"\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b; \u0432\u0438\u0434 \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f &mdash; \u044d\u0442\u043e \u0441\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u0447\u0430\u0448\u0430 \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)\" height=\"533\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b; \u0432\u0438\u0434 \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f &mdash; \u044d\u0442\u043e \u0441\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u0447\u0430\u0448\u0430 \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e &mdash; \u043f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430\u043b\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u0438\u0445 \u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d &mdash; \u0442\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0451\u0442 \u0446\u0435\u043b\u044b\u0439 \u0440\u044f\u0434 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432. \u0418 \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0442\u0443 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0434\u0443\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442 <em>\u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u0443\u044e<\/em> \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u0443 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430. \u0412 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u044d\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a <a href=\"https:\/\/bigenc.ru\/physics\/text\/2632110\" target=\"_blank\">\u0434\u0440\u043e\u0431\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0448\u0443\u043c<\/a> &mdash; \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0444\u043b\u0443\u043a\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430. \u0427\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0435, \u0442\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0441\u0433\u043b\u0430\u0436\u0435\u043d\u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0440\u043e\u0431\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0448\u0443\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (\u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0435\u0433\u043e \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043e\u0440\u043d\u044e \u0438\u0437 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0435), \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u043d \u043d\u0438\u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043d\u0435 \u0438\u0441\u0447\u0435\u0437\u0430\u0435\u0442.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0430\u044f: \u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u043b\u043e. \u0424\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442: \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f 13,5-\u043d\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430 <a href=\"https:\/\/www.transmute.com\/news\/tlppqutjbldpc6clxvd3lu7d6wrw38\" target=\"_blank\">\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 14 \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435<\/a>, \u0447\u0435\u043c 193-\u043d\u043c. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0432 DUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u043c 97 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0442\u043e \u043d\u0430 \u0442\u0443 \u0436\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u0432 EUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0435 &mdash; <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/euvs-new-problem-areas\/\" target=\"_blank\">\u0443\u0436\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0441\u0435\u043c\u044c<\/a>. \u0421\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d\u044b\u043c (\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u044b, \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c \u043e\u0434\u0438\u043d-\u0434\u0432\u0430 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0430) \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440, \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0433\u0440\u0435\u0448\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0443, \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0441 &plusmn;10% \u0434\u043e &plusmn;40%.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-31.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-31.800.jpg\" alt=\"\u041f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)\" height=\"510\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u041f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0435 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u044b, \u0432\u0440\u0435\u0437\u0430\u044f\u0441\u044c \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430, \u0432\u044b\u0431\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0438\u0437 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0435\u0433\u043e \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b &mdash; \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435. \u0412\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435-\u0442\u043e, \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f: \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 (\u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0443\u043f\u0430\u0432\u0448\u0438\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u043c) \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044b, \u0438, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 (\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043a\u0438), \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0451\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044b, \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044f\u0432 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435, \u0432\u044b\u043c\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n<p>\u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0451\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0441\u0430\u043c\u0438 \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0432\u044b\u0431\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0430\u0441\u043a\u0430\u0434\u044b \u0443\u0436\u0435 <em>\u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432.<\/em> \u0410 \u0442\u0435, \u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u0438\u043d\u0438\u0446\u0438\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0446\u0435\u043b\u044b\u0439 \u0440\u044f\u0434 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439, \u043f\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0447\u0443\u0434\u043b\u0438\u0432\u044b\u0445, \u043a\u0430\u043a \u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e&nbsp; \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0437\u0430 \u0435\u0451 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u043c\u0438. \u0418\u0437-\u0437\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0430\u0440\u0443\u0448\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0447\u0451\u0442\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u044f\u043c; &laquo;\u0442\u0435\u043d\u0438&raquo; \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0447\u0438\u043f\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u044b\u0442\u044b\u043c\u0438, \u0447\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-32.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-32.800.jpg\" alt=\"\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b ArF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430) \u0438 13,5-\u043d\u043c EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c: \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0438 \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435. \u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a \u0441 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 (70 \u043c\u0414\u0436 \u043d\u0430 \u043a\u0432. \u0441\u043c \u0434\u043b\u044f EUV \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 35 \u0434\u043b\u044f DUV) \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u044f\u0432\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b. \u041e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430\u0445 \u043e\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u0443\u044e \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438: \u043d\u0430 1 \u043a\u0432. \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f DUV \u0438 \u043d\u0430 0,25 \u043a\u0432. \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f EUV (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SemiWiki)\" height=\"366\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b ArF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430) \u0438 13,5-\u043d\u043c EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c: \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0438 \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435. \u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a \u0441 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 (70 \u043c\u0414\u0436 \u043d\u0430 \u0441\u043c<sup>2<\/sup> \u0434\u043b\u044f EUV \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 35 \u0434\u043b\u044f DUV) \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u044f\u0432\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b. \u041e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430\u0445 \u043e\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u0443\u044e \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438: \u043d\u0430 1 \u043d\u043c<sup>2<\/sup> \u0434\u043b\u044f DUV \u0438 \u043d\u0430 0,25 \u043d\u043c<sup>2<\/sup> \u0434\u043b\u044f EUV (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SemiWiki)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0412\u0441\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043a \u0442\u043e\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0430\u0445, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 EUV-\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0447\u0451\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438, \u0433\u0440\u0443\u0431\u044b\u043c\u0438 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 (<a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/knowledge_centers\/manufacturing\/lithography\/line-edge-roughness-ler\/\" target=\"_blank\">Line-edge roughness, LER<\/a>). \u0418\u0437-\u0437\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e (\u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 DUV) \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0435\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0435\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0434\u0430 \u0435\u0449\u0451 \u0438 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a, \u043a\u0430\u043a \u0434&oacute;\u043b\u0436\u043d\u043e, \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 (<a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/finding-predicting-euv-stochastic-defects\/\" target=\"_blank\">missing and kissing contacts<\/a>). \u0410 \u0432\u0435\u0434\u044c \u0434\u043b\u044f \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 &laquo;7 \u043d\u043c&raquo; \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u0434\u043b\u044f DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, &mdash; \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 (<a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/single-vs-multi-patterning-euv\/\" target=\"_blank\">SAMP, SAQP<\/a>), \u0447\u0442\u043e \u0435\u0449\u0451 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u043c \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0432\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442 \u0435\u0449\u0451 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438: \u043a\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u043d\u0430 300-\u043c\u043c \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e <a href=\"https:\/\/en.wikichip.org\/wiki\/5_nm_lithography_process\" target=\"_blank\">130-230 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0448\u0442\u0443\u043a \u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440<\/a>, \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0438 \u0441 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u043c \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u043e\u043c \u0432\u044b\u044f\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043d\u0435\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0421\u0411\u0418\u0421 &mdash; \u0438 \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0432\u0435\u0434\u043e\u043c\u043e \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432? \u0414\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u0438 ASML, KLA, NuFlare, Tasmit \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/finding-defects-with-e-beam-inspection\/\" target=\"_blank\">\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u044b<\/a>, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e \u0432\u0435\u0440\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440. \u0412\u0435\u0434\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0435 \u043a \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c &laquo;3 \u043d\u043c&raquo;, &laquo;2 \u043d\u043c&raquo; \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0433\u0440\u0435\u0431\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 FinFET \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0442\u044f\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u043f\u043e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438, GAAFET.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-33.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-33.800.jpg\" alt=\"\u0420\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c &laquo;5-\u043d\u043c&raquo; \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u0438 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 EUV-\u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438, \u043c\u043b\u043d \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 1 \u043a\u0432. \u043c\u043c, \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 &laquo;7-\u043d\u043c&raquo; \u0438 &laquo;10-\u043d\u043c&raquo;, \u043f\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0446 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: WikiChip)\" height=\"552\" width=\"800\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0420\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c &laquo;5-\u043d\u043c&raquo; \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u0438 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 EUV-\u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438, \u043c\u043b\u043d \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 1 \u043a\u0432. \u043c\u043c, \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 &laquo;7-\u043d\u043c&raquo; \u0438 &laquo;10-\u043d\u043c&raquo;, \u043f\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0446 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: WikiChip)<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0447\u0442\u043e DUV-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0434\u0432\u0430 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0430 \u043b\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434. \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e EUV-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 (&laquo;5-7 \u043d\u043c&raquo;) \u0443\u0436\u0435 \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 (&laquo;2-3 \u043d\u043c&raquo;), \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u0440\u0435\u0448\u0451\u043d \u0446\u0435\u043b\u044b\u0439 \u0440\u044f\u0434 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c, \u043d\u043e \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0441 \u0442\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u0441\u044f \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0439 \u0432\u043e\u0440\u043e\u0445 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445.<\/p>\n<p>\u041f\u0443\u0442\u0435\u0439 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f EUV \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e: \u044d\u0442\u043e \u0438 <a href=\"https:\/\/electroiq.com\/ultra-violet-lithography-extending-the-patterning-roadmap-to-3nm\/\" target=\"_blank\">\u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432<\/a>, \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (<a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/extending-euv-to-2nm-and-beyond\/\" target=\"_blank\">high-NA EUV<\/a>), \u0438 \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0434\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435. \u0418 \u043f\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u0436\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c, \u043a\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u043d \u0431\u044b\u043b \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0432\u0435\u043a\u0430, \u0432 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0443\u044e \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0431\u0438\u0437\u043d\u0435\u0441 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0432\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u0441\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0443\u043c\u043e\u043f\u043e\u043c\u0440\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0442\u043e \u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u043d\u0435\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n"}],"published":1664486541,"related":[1073858,1074029,1071797,1070760,1069536,1068299,1066338],"revision":50,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1074772","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-24","lockTime":false,"lockedBy":false,"images":{"60068d861686a22dfbe6af77f3536e9c":{"information":{"width":"1600","height":"900","mime":"image\/jpeg","area":"1440000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-01.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-01.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-01.jpeg","filename":"euv-01.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-01.jpeg","caption":"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0443\u044e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)","fsize":"1423186","time":"1664041913","thumbnail":"dad6cfa9ead6ac0817cb23abc23bf91c"},"dad6cfa9ead6ac0817cb23abc23bf91c":{"information":{"width":"800","height":"450","mime":"image\/jpeg","area":"360000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-01.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-01.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-01.800.jpeg","filename":"sm.euv-01.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-01.800.jpeg","caption":"\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0443\u044e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)","fsize":"492439","time":"1664041913","extended":"60068d861686a22dfbe6af77f3536e9c"},"fd3dc65855e68bba80a5eb297b284e69":{"information":{"width":"1600","height":"1200","mime":"image\/jpeg","area":"1920000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-02.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-02.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-02.jpeg","filename":"euv-02.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-02.jpeg","caption":"\u0424\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b EUV-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0445 \u043f\u043e \u00ab\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439\u00bb \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u0432 ASML \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043b\u0451\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 KUKA Robotics (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"1621374","time":"1664041913","thumbnail":"f37f8f2d0a7e178b04184149e73cead9"},"f37f8f2d0a7e178b04184149e73cead9":{"information":{"width":"800","height":"600","mime":"image\/jpeg","area":"480000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-02.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-02.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-02.800.jpeg","filename":"sm.euv-02.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-02.800.jpeg","caption":"\u0424\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b EUV-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0445 \u043f\u043e \u00ab\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439\u00bb \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u0432 ASML \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043b\u0451\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 KUKA Robotics (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"565029","time":"1664041913","extended":"fd3dc65855e68bba80a5eb297b284e69"},"bff010bd2a4465c5ea514b7798690d01":{"information":{"width":"1600","height":"1027","mime":"image\/jpeg","area":"1643200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-03.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-03.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-03.jpeg","filename":"euv-03.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-03.jpeg","caption":"\u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439, \u0433\u0440\u043e\u043c\u043e\u0437\u0434\u043a\u0438\u0439, \u043d\u043e \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u2014 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u0432 \u00ab\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439\u00bb \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"1806737","time":"1664041914","thumbnail":"81ee3e866095377b4ed0664a24a7a6b3"},"81ee3e866095377b4ed0664a24a7a6b3":{"information":{"width":"800","height":"514","mime":"image\/jpeg","area":"411200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-03.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-03.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-03.800.jpeg","filename":"sm.euv-03.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-03.800.jpeg","caption":"\u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439, \u0433\u0440\u043e\u043c\u043e\u0437\u0434\u043a\u0438\u0439, \u043d\u043e \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u2014 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u0432 \u00ab\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439\u00bb \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"582824","time":"1664041914","extended":"bff010bd2a4465c5ea514b7798690d01"},"b8d10d84ec9f05449f3bd91751403130":{"information":{"width":"1195","height":"1600","mime":"image\/jpeg","area":"1912000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-04.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-04.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-04.jpeg","filename":"euv-04.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-04.jpeg","caption":"\u0428\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0430\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0445 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432 \u2014 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0439\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"1651798","time":"1664041915","thumbnail":"cc736742169f4df141a03e409a01778b"},"cc736742169f4df141a03e409a01778b":{"information":{"width":"800","height":"1072","mime":"image\/jpeg","area":"857600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-04.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-04.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-04.800.jpeg","filename":"sm.euv-04.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-04.800.jpeg","caption":"\u0428\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0430\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0445 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432 \u2014 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0439\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"902480","time":"1664041915","extended":"b8d10d84ec9f05449f3bd91751403130"},"a393fd899d987d74989deeb3e9948f77":{"information":{"width":"1600","height":"1066","mime":"image\/jpeg","area":"1705600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-05.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-05.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-05.jpeg","filename":"euv-05.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-05.jpeg","caption":"\u041b\u0438\u043d\u0437\u044b \u0438\u0437 \u0444\u043b\u044e\u043e\u0440\u0438\u0442\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: UQG Optics)","fsize":"1477888","time":"1664041916","thumbnail":"6a3d0a60af77f4fc3bd373a0271b382e"},"6a3d0a60af77f4fc3bd373a0271b382e":{"information":{"width":"800","height":"533","mime":"image\/jpeg","area":"426400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-05.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-05.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-05.800.jpeg","filename":"sm.euv-05.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-05.800.jpeg","caption":"\u041b\u0438\u043d\u0437\u044b \u0438\u0437 \u0444\u043b\u044e\u043e\u0440\u0438\u0442\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: UQG Optics)","fsize":"569957","time":"1664041916","extended":"a393fd899d987d74989deeb3e9948f77"},"328ca55654c7503f42637489731c6985":{"information":{"width":"1600","height":"1229","mime":"image\/jpeg","area":"1966400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-06.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-06.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-06.jpeg","filename":"euv-06.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-06.jpeg","caption":"\u0422\u0443\u0440\u0431\u043e\u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u044b, \u043e\u0442\u043a\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445 \u0438\u0437 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b, \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438 \u0434\u043b\u044f 157-\u043d\u043c DUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0430: \u043e\u043d\u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0442\u044c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"1863000","time":"1664041917","thumbnail":"55b9718161c7cdfe48698c17147ac2a6"},"55b9718161c7cdfe48698c17147ac2a6":{"information":{"width":"800","height":"615","mime":"image\/jpeg","area":"492000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-06.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-06.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-06.800.jpeg","filename":"sm.euv-06.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-06.800.jpeg","caption":"\u0422\u0443\u0440\u0431\u043e\u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u044b, \u043e\u0442\u043a\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445 \u0438\u0437 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b, \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438 \u0434\u043b\u044f 157-\u043d\u043c DUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0430: \u043e\u043d\u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0442\u044c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"640647","time":"1664041917","extended":"328ca55654c7503f42637489731c6985"},"b786449eb4bee7a721489d96877be259":{"information":{"width":"1600","height":"1066","mime":"image\/jpeg","area":"1705600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-07.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-07.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-07.jpeg","filename":"euv-07.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-07.jpeg","caption":"\u0421\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430 \u00ab3 \u043d\u043c\u00bb) (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"846912","time":"1664041917","thumbnail":"6cda5a59f5edf5e727b944531b259da8"},"6cda5a59f5edf5e727b944531b259da8":{"information":{"width":"800","height":"533","mime":"image\/jpeg","area":"426400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-07.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-07.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-07.800.jpeg","filename":"sm.euv-07.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-07.800.jpeg","caption":"\u0421\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430 \u00ab3 \u043d\u043c\u00bb) (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"310052","time":"1664041917","extended":"b786449eb4bee7a721489d96877be259"},"01738df9f19a7169f56eefdab545fec1":{"information":{"width":"1600","height":"1064","mime":"image\/jpeg","area":"1702400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-08.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-08.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-08.jpeg","filename":"euv-08.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-08.jpeg","caption":"\u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445, \u2014 \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u043e\u0448\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)","fsize":"1153094","time":"1664041918","thumbnail":"415e6497515da32d148f4bd168c8be0d"},"415e6497515da32d148f4bd168c8be0d":{"information":{"width":"800","height":"532","mime":"image\/jpeg","area":"425600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-08.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-08.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-08.800.jpeg","filename":"sm.euv-08.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-08.800.jpeg","caption":"\u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445, \u2014 \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u043e\u0448\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Fraunhofer Institute)","fsize":"416808","time":"1664041918","extended":"01738df9f19a7169f56eefdab545fec1"},"4c7065c9fadcad8b2bf14dd353e50363":{"information":{"width":"1600","height":"984","mime":"image\/jpeg","area":"1574400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-09.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-09.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-09.jpg","filename":"euv-09.jpg","ext":"jpg","name":"euv-09.jpg","caption":"\u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0435\u0451 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u043d\u0438\u0437\u0443), \u0442\u0440\u0451\u0445\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0441\u0430\u043c\u0443 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 (\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e) \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0438\u0437 6 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SPIE)","fsize":"325792","time":"1664041918","thumbnail":"627db2d5ff7e07dbf610cea93f5b31f6"},"627db2d5ff7e07dbf610cea93f5b31f6":{"information":{"width":"800","height":"492","mime":"image\/jpeg","area":"393600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-09.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-09.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-09.800.jpg","filename":"sm.euv-09.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-09.800.jpg","caption":"\u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0435\u0451 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u043d\u0438\u0437\u0443), \u0442\u0440\u0451\u0445\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0441\u0430\u043c\u0443 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 (\u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e) \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0438\u0437 6 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SPIE)","fsize":"145763","time":"1664041918","extended":"4c7065c9fadcad8b2bf14dd353e50363"},"dcb72a8d33e905d49e317aad5b49cbf3":{"information":{"width":"1600","height":"1067","mime":"image\/jpeg","area":"1707200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-10.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-10.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-10.jpeg","filename":"euv-10.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-10.jpeg","caption":"\u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f EUV \u2014 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u0432 1\/8 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1,7 \u043d\u043c (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"1335064","time":"1664041919","thumbnail":"eb7e9b5cea8edd1f1af52422c549631d"},"eb7e9b5cea8edd1f1af52422c549631d":{"information":{"width":"800","height":"534","mime":"image\/jpeg","area":"427200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-10.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-10.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-10.800.jpeg","filename":"sm.euv-10.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-10.800.jpeg","caption":"\u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f EUV \u2014 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u0432 1\/8 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1,7 \u043d\u043c (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"423572","time":"1664041919","extended":"dcb72a8d33e905d49e317aad5b49cbf3"},"f909ad11b31415b6ff498b42cf0109ca":{"information":{"width":"800","height":"533","mime":"image\/jpeg","area":"426400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-11.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-11.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-11.jpg","filename":"euv-11.jpg","ext":"jpg","name":"euv-11.jpg","caption":"\u041b\u0443\u0447 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 I \u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0431\u0435\u0441\u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n1 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0443\u044e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n2 \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c \u03b8i \u043a \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u0438, \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0447\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 R \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0422 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)","fsize":"114560","time":"1664041920","thumbnail":"bc136d7526e6e5750552b4c21d8ecbae"},"bc136d7526e6e5750552b4c21d8ecbae":{"information":{"width":"800","height":"533","mime":"image\/jpeg","area":"426400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-11.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-11.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-11.800.jpg","filename":"sm.euv-11.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-11.800.jpg","caption":"\u041b\u0443\u0447 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 I \u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0431\u0435\u0441\u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n1 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0443\u044e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f n2 \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c \u03b8i \u043a \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u0438, \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0447\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 R \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0422 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)","fsize":"114560","time":"1664041920","extended":"f909ad11b31415b6ff498b42cf0109ca"},"2e6ac0508d92dbeab807756dd85c66d5":{"information":{"width":"1600","height":"900","mime":"image\/jpeg","area":"1440000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-12.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-12.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-12.jpeg","filename":"euv-12.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-12.jpeg","caption":"\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0432\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043d\u0435, \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u0438 \u043d\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0443\u0445\u0430\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Pixabay)","fsize":"1152504","time":"1664041920","thumbnail":"25167af4c9fcd7f4fe13515f43e01926"},"25167af4c9fcd7f4fe13515f43e01926":{"information":{"width":"800","height":"450","mime":"image\/jpeg","area":"360000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-12.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-12.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-12.800.jpeg","filename":"sm.euv-12.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-12.800.jpeg","caption":"\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0432\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043d\u0435, \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u0438 \u043d\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0443\u0445\u0430\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Pixabay)","fsize":"434883","time":"1664041920","extended":"2e6ac0508d92dbeab807756dd85c66d5"},"c366dafb2af84d64b6f273a7f94fa75c":{"information":{"width":"1200","height":"1600","mime":"image\/jpeg","area":"1920000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-13.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-13.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-13.jpeg","filename":"euv-13.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-13.jpeg","caption":"\u041e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 (\u0442\u0451\u043c\u043d\u043e-\u0441\u0435\u0440\u044b\u0439 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430), \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"767270","time":"1664041921","thumbnail":"e09bfd52585a18c5a0152d529ac2e7b9"},"e09bfd52585a18c5a0152d529ac2e7b9":{"information":{"width":"800","height":"1067","mime":"image\/jpeg","area":"853600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-13.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-13.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-13.800.jpeg","filename":"sm.euv-13.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-13.800.jpeg","caption":"\u041e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 (\u0442\u0451\u043c\u043d\u043e-\u0441\u0435\u0440\u044b\u0439 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430), \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"517736","time":"1664041921","extended":"c366dafb2af84d64b6f273a7f94fa75c"},"38808e7b8d43a73837435a7a05d106ef":{"information":{"width":"1600","height":"1049","mime":"image\/jpeg","area":"1678400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-14.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-14.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-14.jpeg","filename":"euv-14.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-14.jpeg","caption":"\u041d\u0435\u0431\u043e \u0417\u0435\u043c\u043b\u0438 \u0433\u043e\u043b\u0443\u0431\u043e\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0438: \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043e\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u00ab\u0421\u043e\u043b\u043d\u0446\u0435 \u2014 \u0433\u043b\u0430\u0437 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u00bb \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e, \u00ab\u043e\u043a\u0440\u0430\u0448\u0438\u0432\u0430\u044f\u00bb \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u044b\u0439 \u043d\u0435\u0431\u043e\u0441\u0432\u043e\u0434 \u0432 \u043e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0435\u0433\u043e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Unsplash)","fsize":"834186","time":"1664041922","thumbnail":"b276922e00ccb9af2d14e180ac33e739"},"b276922e00ccb9af2d14e180ac33e739":{"information":{"width":"800","height":"525","mime":"image\/jpeg","area":"420000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-14.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-14.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-14.800.jpeg","filename":"sm.euv-14.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-14.800.jpeg","caption":"\u041d\u0435\u0431\u043e \u0417\u0435\u043c\u043b\u0438 \u0433\u043e\u043b\u0443\u0431\u043e\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0438: \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043e\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u00ab\u0421\u043e\u043b\u043d\u0446\u0435 \u2014 \u0433\u043b\u0430\u0437 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u00bb \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e, \u00ab\u043e\u043a\u0440\u0430\u0448\u0438\u0432\u0430\u044f\u00bb \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u044b\u0439 \u043d\u0435\u0431\u043e\u0441\u0432\u043e\u0434 \u0432 \u043e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0435\u0433\u043e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Unsplash)","fsize":"310183","time":"1664041922","extended":"38808e7b8d43a73837435a7a05d106ef"},"3c902b194683fc5c03235bdc93efe00a":{"information":{"width":"490","height":"360","mime":"image\/gif","area":"176400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-15.gif\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-15.gif","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-15.gif","filename":"euv-15.gif","ext":"gif","name":"euv-15.gif","caption":"","fsize":"1113726","time":"1664041922"},"ec3397cd2e28f1dfc7d8706ed32da966":{"information":{"width":"1600","height":"941","mime":"image\/jpeg","area":"1505600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-16.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-16.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-16.jpeg","filename":"euv-16.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-16.jpeg","caption":"\u041a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0436\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0445 \u0438 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u0430\u0445, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446, \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0440\u0435\u0433\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imperial College London)","fsize":"662766","time":"1664041923","thumbnail":"f4559701a7a254a75ac4b1c93ecb4af3"},"f4559701a7a254a75ac4b1c93ecb4af3":{"information":{"width":"800","height":"471","mime":"image\/jpeg","area":"376800"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-16.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-16.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-16.800.jpeg","filename":"sm.euv-16.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-16.800.jpeg","caption":"\u041a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0436\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0445 \u0438 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u0430\u0445, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446, \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0440\u0435\u0433\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imperial College London)","fsize":"208177","time":"1664041923","extended":"ec3397cd2e28f1dfc7d8706ed32da966"},"7d3ca3a22fdd4c9c77f3170276ba5e9c":{"information":{"width":"952","height":"1600","mime":"image\/jpeg","area":"1523200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-17.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-17.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-17.jpeg","filename":"euv-17.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-17.jpeg","caption":"\u0414\u0440\u0435\u0432\u043d\u0435\u0435\u0433\u0438\u043f\u0435\u0442\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0431\u0440\u043e\u043d\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e: \u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0426\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e, \u043e\u043a. 2040-1750 \u0433. \u0434\u043e \u043d. \u044d. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Christie's)","fsize":"659170","time":"1664041924","thumbnail":"f4c67c3919182036abc00c832282e876"},"f4c67c3919182036abc00c832282e876":{"information":{"width":"800","height":"1345","mime":"image\/jpeg","area":"1076000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-17.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-17.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-17.800.jpeg","filename":"sm.euv-17.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-17.800.jpeg","caption":"\u0414\u0440\u0435\u0432\u043d\u0435\u0435\u0433\u0438\u043f\u0435\u0442\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0431\u0440\u043e\u043d\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e: \u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0426\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e, \u043e\u043a. 2040-1750 \u0433. \u0434\u043e \u043d. \u044d. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Christie's)","fsize":"723359","time":"1664041924","extended":"7d3ca3a22fdd4c9c77f3170276ba5e9c"},"66da5ff503bc31f353837163989d5f75":{"information":{"width":"800","height":"537","mime":"image\/jpeg","area":"429600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-18.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-18.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-18.jpg","filename":"euv-18.jpg","ext":"jpg","name":"euv-18.jpg","caption":"\u041d\u0435\u0442 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f: \u0434\u0432\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0444\u0430\u0437\u0435, \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u2014 \u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0443\u044e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Angstrom Engineering)","fsize":"158986","time":"1664041924","thumbnail":"1a9c758f1a1c7520a072e9bbba4e6808"},"1a9c758f1a1c7520a072e9bbba4e6808":{"information":{"width":"800","height":"537","mime":"image\/jpeg","area":"429600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-18.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-18.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-18.800.jpg","filename":"sm.euv-18.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-18.800.jpg","caption":"\u041d\u0435\u0442 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f: \u0434\u0432\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0444\u0430\u0437\u0435, \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u2014 \u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0443\u044e (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Angstrom Engineering)","fsize":"158986","time":"1664041924","extended":"66da5ff503bc31f353837163989d5f75"},"76fca3138dadac665674ee4954162764":{"information":{"width":"800","height":"364","mime":"image\/jpeg","area":"291200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-19.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-19.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-19.jpg","filename":"euv-19.jpg","ext":"jpg","name":"euv-19.jpg","caption":"\u0424\u0430\u0437\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u03c0\/2 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Georgia State University)","fsize":"71752","time":"1664041925","thumbnail":"6c2717c4322bdd81982f58956d938978"},"6c2717c4322bdd81982f58956d938978":{"information":{"width":"800","height":"364","mime":"image\/jpeg","area":"291200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-19.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-19.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-19.800.jpg","filename":"sm.euv-19.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-19.800.jpg","caption":"\u0424\u0430\u0437\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u03c0\/2 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Georgia State University)","fsize":"71752","time":"1664041925","extended":"76fca3138dadac665674ee4954162764"},"655aa25f60e09eb17c17fbf03767413a":{"information":{"width":"800","height":"800","mime":"image\/jpeg","area":"640000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-20.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-20.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-20.jpg","filename":"euv-20.jpg","ext":"jpg","name":"euv-20.jpg","caption":"\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u044c \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Manx Precision Optics)","fsize":"114276","time":"1664041925","thumbnail":"6200e42611fcc82541ce677a087c7f38"},"6200e42611fcc82541ce677a087c7f38":{"information":{"width":"800","height":"800","mime":"image\/jpeg","area":"640000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-20.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-20.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-20.800.jpg","filename":"sm.euv-20.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-20.800.jpg","caption":"\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u044c \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Manx Precision Optics)","fsize":"114276","time":"1664041925","extended":"655aa25f60e09eb17c17fbf03767413a"},"fdf3cee0e1618b546b10af7b30a4eef1":{"information":{"width":"1547","height":"1600","mime":"image\/jpeg","area":"2475200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-21.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-21.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-21.jpeg","filename":"euv-21.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-21.jpeg","caption":"\u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 NA \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0430\u0440\u044b \u0430\u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0431\u043b\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043a\u0442\u044e\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Laser Focus World)","fsize":"542840","time":"1664041926","thumbnail":"b3c64e477eb13b66c6c0819787e03047"},"b3c64e477eb13b66c6c0819787e03047":{"information":{"width":"800","height":"828","mime":"image\/jpeg","area":"662400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-21.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-21.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-21.800.jpeg","filename":"sm.euv-21.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-21.800.jpeg","caption":"\u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 NA \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0430\u0440\u044b \u0430\u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0440\u044d\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0431\u043b\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043a\u0442\u044e\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Laser Focus World)","fsize":"286204","time":"1664041926","extended":"fdf3cee0e1618b546b10af7b30a4eef1"},"d111fe3517d0097f33c609beec30a8a3":{"information":{"width":"1600","height":"1066","mime":"image\/jpeg","area":"1705600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-22.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-22.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-22.jpeg","filename":"euv-22.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-22.jpeg","caption":"\u041f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 (\u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0444\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430) \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0432 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0443; \u043c\u0430\u0441\u0441\u0430 \u2014 1,5 \u0442\u043e\u043d\u043d\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"1519779","time":"1664041927","thumbnail":"4cb105e1a51ee20732b07bb11b6832d3"},"4cb105e1a51ee20732b07bb11b6832d3":{"information":{"width":"800","height":"533","mime":"image\/jpeg","area":"426400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-22.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-22.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-22.800.jpeg","filename":"sm.euv-22.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-22.800.jpeg","caption":"\u041f\u043b\u0435\u0447\u043e \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 (\u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0444\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430) \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0432 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0443; \u043c\u0430\u0441\u0441\u0430 \u2014 1,5 \u0442\u043e\u043d\u043d\u044b (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"464480","time":"1664041927","extended":"d111fe3517d0097f33c609beec30a8a3"},"4b52519821b3c9e6858ca30f0cd57792":{"information":{"width":"1200","height":"1600","mime":"image\/jpeg","area":"1920000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-23.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-23.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-23.jpeg","filename":"euv-23.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-23.jpeg","caption":"\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0440\u0443\u0447\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430! (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"1669103","time":"1664041928","thumbnail":"9c74368599b8194dcf580590aa06a024"},"9c74368599b8194dcf580590aa06a024":{"information":{"width":"800","height":"1067","mime":"image\/jpeg","area":"853600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-23.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-23.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-23.800.jpeg","filename":"sm.euv-23.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-23.800.jpeg","caption":"\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0432 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0440\u0443\u0447\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430! (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: MIT)","fsize":"885378","time":"1664041928","extended":"4b52519821b3c9e6858ca30f0cd57792"},"0c9f59cac2c05b7d470bf73135a00483":{"information":{"width":"800","height":"474","mime":"image\/jpeg","area":"379200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-24.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-24.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-24.jpeg","filename":"euv-24.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-24.jpeg","caption":"\u041f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0443\u0434\u0430\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0435\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 ASML \u043b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)","fsize":"166282","time":"1664041928","thumbnail":"a653f68ca09d95f2b245e207ca258b35"},"a653f68ca09d95f2b245e207ca258b35":{"information":{"width":"800","height":"474","mime":"image\/jpeg","area":"379200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-24.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-24.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-24.800.jpeg","filename":"sm.euv-24.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-24.800.jpeg","caption":"\u041f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0443\u0434\u0430\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0435\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 ASML \u043b\u0438\u0448\u044c \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)","fsize":"166282","time":"1664041928","extended":"0c9f59cac2c05b7d470bf73135a00483"},"4a00282f975c0af7f87cc384640a786c":{"information":{"width":"800","height":"510","mime":"image\/jpeg","area":"408000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-25.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-25.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-25.jpg","filename":"euv-25.jpg","ext":"jpg","name":"euv-25.jpg","caption":"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c 6\u00b0 EUV-\u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435\u043c \u0438\u0437 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f (Ru) 2-\u043d\u043c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b, \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)","fsize":"114638","time":"1664041929","thumbnail":"d92dcbd41f7249b0f221f1f205e4c103"},"d92dcbd41f7249b0f221f1f205e4c103":{"information":{"width":"800","height":"510","mime":"image\/jpeg","area":"408000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-25.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-25.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-25.800.jpg","filename":"sm.euv-25.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-25.800.jpg","caption":"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u043b\u043e\u043c 6\u00b0 EUV-\u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435\u043c \u0438\u0437 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f (Ru) 2-\u043d\u043c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b, \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)","fsize":"114638","time":"1664041929","extended":"4a00282f975c0af7f87cc384640a786c"},"4d6cd170a96f4c699f0dbf8d2c9eb41f":{"information":{"width":"800","height":"556","mime":"image\/jpeg","area":"444800"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-26.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-26.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-26.jpeg","filename":"euv-26.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-26.jpeg","caption":"\u0421\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430 PELLICLE \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u043d\u044b\u043d\u0435 Mitsui (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Mitsui Chemicals)","fsize":"345671","time":"1664041929","thumbnail":"76c3871ffc1be94346b41620a7b45e30"},"76c3871ffc1be94346b41620a7b45e30":{"information":{"width":"800","height":"556","mime":"image\/jpeg","area":"444800"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-26.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-26.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-26.800.jpeg","filename":"sm.euv-26.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-26.800.jpeg","caption":"\u0421\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430 PELLICLE \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u043d\u044b\u043d\u0435 Mitsui (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Mitsui Chemicals)","fsize":"345671","time":"1664041929","extended":"4d6cd170a96f4c699f0dbf8d2c9eb41f"},"51498dd437063a9305d946de3f00add8":{"information":{"width":"800","height":"722","mime":"image\/jpeg","area":"577600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-27.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-27.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-27.jpeg","filename":"euv-27.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-27.jpeg","caption":"\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)","fsize":"325185","time":"1664041930","thumbnail":"706e4079d9b7105b334ab93469635f3f"},"706e4079d9b7105b334ab93469635f3f":{"information":{"width":"800","height":"722","mime":"image\/jpeg","area":"577600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-27.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-27.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-27.800.jpeg","filename":"sm.euv-27.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-27.800.jpeg","caption":"\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Imec)","fsize":"325185","time":"1664041930","extended":"51498dd437063a9305d946de3f00add8"},"4a3017ef25bf6062853838437c37592c":{"information":{"width":"1600","height":"1062","mime":"image\/jpeg","area":"1699200"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-28.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-28.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-28.jpeg","filename":"euv-28.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-28.jpeg","caption":"\u0412\u0441\u0435 \u0443\u0445\u0438\u0449\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"1042445","time":"1664041930","thumbnail":"9b42a3f89dabd66833df425cf9e29cea"},"9b42a3f89dabd66833df425cf9e29cea":{"information":{"width":"800","height":"531","mime":"image\/jpeg","area":"424800"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-28.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-28.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-28.800.jpeg","filename":"sm.euv-28.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-28.800.jpeg","caption":"\u0412\u0441\u0435 \u0443\u0445\u0438\u0449\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Zeiss)","fsize":"356556","time":"1664041930","extended":"4a3017ef25bf6062853838437c37592c"},"160d49e69e00f6847ad7f67414decd58":{"information":{"width":"1600","height":"753","mime":"image\/jpeg","area":"1204800"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-29.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-29.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-29.jpeg","filename":"euv-29.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-29.jpeg","caption":"\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439, 7332 \u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043a\u0430\u0431\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 17 \u0442\u043e\u043d\u043d \u00ab\u0436\u0438\u0432\u043e\u0433\u043e\u00bb \u0432\u0435\u0441\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: TRUMPF)","fsize":"1397843","time":"1664041931","thumbnail":"8a3202477779e6396a9d1f0a9518e957"},"8a3202477779e6396a9d1f0a9518e957":{"information":{"width":"800","height":"377","mime":"image\/jpeg","area":"301600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-29.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-29.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-29.800.jpeg","filename":"sm.euv-29.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-29.800.jpeg","caption":"\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439, 7332 \u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043a\u0430\u0431\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 17 \u0442\u043e\u043d\u043d \u00ab\u0436\u0438\u0432\u043e\u0433\u043e\u00bb \u0432\u0435\u0441\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: TRUMPF)","fsize":"492592","time":"1664041931","extended":"160d49e69e00f6847ad7f67414decd58"},"ab47cae626f712e688ac6f5e35ca47b6":{"information":{"width":"1600","height":"1066","mime":"image\/jpeg","area":"1705600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-30.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-30.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-30.jpeg","filename":"euv-30.jpeg","ext":"jpeg","name":"euv-30.jpeg","caption":"\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b; \u0432\u0438\u0434 \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u0447\u0430\u0448\u0430 \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)","fsize":"1463947","time":"1664041932","thumbnail":"e13d2efc61656e5383203d023ae31b93"},"e13d2efc61656e5383203d023ae31b93":{"information":{"width":"800","height":"533","mime":"image\/jpeg","area":"426400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-30.800.jpeg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-30.800.jpeg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-30.800.jpeg","filename":"sm.euv-30.800.jpeg","ext":"jpeg","name":"sm.euv-30.800.jpeg","caption":"\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b; \u0432\u0438\u0434 \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u0447\u0430\u0448\u0430 \u0447\u0443\u0442\u044c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043a\u0430 (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: ASML)","fsize":"534323","time":"1664041932","extended":"ab47cae626f712e688ac6f5e35ca47b6"},"c362fa59b93516ab4480191aea25cdc7":{"information":{"width":"800","height":"510","mime":"image\/jpeg","area":"408000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-31.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-31.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-31.jpg","filename":"euv-31.jpg","ext":"jpg","name":"euv-31.jpg","caption":"\u041f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)","fsize":"101437","time":"1664041932","thumbnail":"33e9e78068bdc43eb63e94666332e638"},"33e9e78068bdc43eb63e94666332e638":{"information":{"width":"800","height":"510","mime":"image\/jpeg","area":"408000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-31.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-31.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-31.800.jpg","filename":"sm.euv-31.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-31.800.jpg","caption":"\u041f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Wikimedia Commons)","fsize":"101437","time":"1664041932","extended":"c362fa59b93516ab4480191aea25cdc7"},"6bdb12cf88127efa2c59c90cdbc9c535":{"information":{"width":"1600","height":"731","mime":"image\/jpeg","area":"1169600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-32.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-32.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-32.jpg","filename":"euv-32.jpg","ext":"jpg","name":"euv-32.jpg","caption":"\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b ArF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430) \u0438 13,5-\u043d\u043c EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c: \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0438 \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435. \u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a \u0441 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 (70 \u043c\u0414\u0436 \u043d\u0430 \u043a\u0432. \u0441\u043c \u0434\u043b\u044f EUV \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 35 \u0434\u043b\u044f DUV) \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u044f\u0432\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b. \u041e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430\u0445 \u043e\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u0443\u044e \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438: \u043d\u0430 1 \u043a\u0432. \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f DUV \u0438 \u043d\u0430 0,25 \u043a\u0432. \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f EUV (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SemiWiki)","fsize":"829531","time":"1664041933","thumbnail":"46a5baf680ba48df6a7278eb991b3e14"},"46a5baf680ba48df6a7278eb991b3e14":{"information":{"width":"800","height":"366","mime":"image\/jpeg","area":"292800"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-32.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-32.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-32.800.jpg","filename":"sm.euv-32.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-32.800.jpg","caption":"\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b ArF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430) \u0438 13,5-\u043d\u043c EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c: \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0438 \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435. \u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a \u0441 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 (70 \u043c\u0414\u0436 \u043d\u0430 \u043a\u0432. \u0441\u043c \u0434\u043b\u044f EUV \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 35 \u0434\u043b\u044f DUV) \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u044f\u0432\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b. \u041e\u0442\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430\u0445 \u043e\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u0443\u044e \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438: \u043d\u0430 1 \u043a\u0432. \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f DUV \u0438 \u043d\u0430 0,25 \u043a\u0432. \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f EUV (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: SemiWiki)","fsize":"294186","time":"1664041933","extended":"6bdb12cf88127efa2c59c90cdbc9c535"},"bf53ee60da1f11a440c41383d93fd05e":{"information":{"width":"1600","height":"1103","mime":"image\/jpeg","area":"1764800"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-33.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-33.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-33.jpg","filename":"euv-33.jpg","ext":"jpg","name":"euv-33.jpg","caption":"\u0420\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u00ab5-\u043d\u043c\u00bb \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u0438 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 EUV-\u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438, \u043c\u043b\u043d \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 1 \u043a\u0432. \u043c\u043c, \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u00ab7-\u043d\u043c\u00bb \u0438 \u00ab10-\u043d\u043c\u00bb, \u043f\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0446 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: WikiChip)","fsize":"608548","time":"1664041933","thumbnail":"d5a01b958205ad42a65f7f005e9ecf6a"},"d5a01b958205ad42a65f7f005e9ecf6a":{"information":{"width":"800","height":"552","mime":"image\/jpeg","area":"441600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-33.800.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-33.800.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/24\/1074772\/sm.euv-33.800.jpg","filename":"sm.euv-33.800.jpg","ext":"jpg","name":"sm.euv-33.800.jpg","caption":"\u0420\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u00ab5-\u043d\u043c\u00bb \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u0438 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 EUV-\u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438, \u043c\u043b\u043d \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 1 \u043a\u0432. \u043c\u043c, \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u00ab7-\u043d\u043c\u00bb \u0438 \u00ab10-\u043d\u043c\u00bb, \u043f\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0446 2021 \u0433. (\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: WikiChip)","fsize":"247620","time":"1664041933","extended":"bf53ee60da1f11a440c41383d93fd05e"}},"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"sverhgyostkiy-ultrafiolet-euv-v-poluprovodnikovoy-litografii","socialmart":"","bCpu":"1","advertlink_url":""},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/icons\/2022\/09\/24\/1074772.jpg","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u00ab\u0417\u0430\u043a\u043e\u043d \u041c\u0443\u0440\u0430\u00bb \u0431\u044b\u043b \u0432 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437 \u0441\u043f\u0430\u0441\u0451\u043d \u0432 2017 \u0433., \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f ASML \u0434\u043e\u0432\u0435\u043b\u0430 \u0434\u043e \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444, \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043b \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e 17 \u043b\u0435\u0442 \u0438 9 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0421\u0428\u0410.  \u0418 \u043e\u043d\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043b\u043e!","xstat":0,"xtype":1,"title":"\u041d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f: \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 (EUV) \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e, \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u2014 \u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e","time":"00:22","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/24\/1074772\/euv-01.jpeg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335e5bab4182e8a022ae439"},"id":1075038,"authors":[783],"categories":[10,62],"fullpath":["1075038","software-news\/1075038","software-news\/games\/1075038"],"generated":1664482315,"generator":{"id":748,"username":"Sozi","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0410\u043d\u0434\u0440\u0435\u0439 \u0421\u043e\u0437\u0438\u043d\u043e\u0432","groups":["","",6,36,12,33,42,45]},"header":"\u0421\u0430\u0443\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0410\u0440\u0430\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u043c \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e $38 \u043c\u043b\u0440\u0434","keywords":["\u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442","\u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0446\u0438\u0438","\u0441\u0430\u0443\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0430\u0440\u0430\u0432\u0438\u044f"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u041f\u043e \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u0441\u0435\u0442\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0421\u0430\u0443\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0410\u0440\u0430\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430 $38 \u043c\u043b\u0440\u0434. \u042d\u0442\u0438 \u0432\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043f\u043e\u043c\u043e\u0447\u044c \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440 \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430 \u043a 2030 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0447\u0442\u043e \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043b\u0430\u043d\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u043e \u0434\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0451\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0435\u0444\u0442\u0438.<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075038\/1252.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Bloomberg\" height=\"500\" width=\"750\" \/>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Bloomberg<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430 \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044e \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0432 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435 \u0421\u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0444\u043e\u043d\u0434 \u0421\u0430\u0443\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0410\u0440\u0430\u0432\u0438\u0438 Public Investment Fund \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044e Savvy Games Group, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0439\u043c\u0451\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430. \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e \u0442\u0440\u0435\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0443\u043c\u043c\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0430\u0447\u0435\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u043a\u0443 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438\u0433\u0440, \u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432 \u043f\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043d\u043e\u0440\u0438\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u043e\u0432 \u0430\u043a\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445. \u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0437\u0440\u0435\u043b\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u044f \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0438 \u043c\u043e\u043b\u043e\u0434\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044e\u0442 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438\u0433\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043e\u043c. &nbsp;&nbsp;<\/p>\n<p><em>&laquo;\u041c\u044b \u0437\u0430\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u043c \u043d\u0435\u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b \u0432 \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0435 \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0438 \u0438\u0433\u0440, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0434\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u0448\u0443 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0443, \u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0435 \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u043b\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u0438 \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u0440\u0435\u0432\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c\u0443 \u043a\u043e\u0440\u043e\u043b\u0435\u0432\u0441\u0442\u0432\u0443&raquo;<\/em>,&nbsp;&mdash; \u0437\u0430\u044f\u0432\u0438\u043b \u043d\u0430\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446 \u0421\u0430\u0443\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0410\u0440\u0430\u0432\u0438\u0438 \u0438 \u0433\u043b\u0430\u0432\u0430 Savvy Games Group \u041c\u043e\u0445\u0430\u043c\u043c\u0435\u0434 \u0431\u0438\u043d \u0421\u043b\u0430\u043c\u0430\u043d (Mohammed Bin Salman).<\/p>\n<p>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043e\u0442\u043c\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0421\u0430\u0443\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0410\u0440\u0430\u0432\u0438\u044f \u0443\u0436\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0432 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u0443\u044e \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044e. \u0421\u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0444\u043e\u043d\u0434 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u043b \u0434\u043e\u043b\u0438 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445, \u043a\u0430\u043a Activision Blizzard, Electronic Arts \u0438 Nintendo. \u0412 \u044d\u0442\u043e \u0436\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f Savvy Games Group \u043a\u0443\u043f\u0438\u043b\u0430 \u0434\u043e\u043b\u044e \u0432 Embracer Group AB \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u043b\u0430 \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 Modern Times Group \u0437\u0430 $1,05 \u043c\u043b\u0440\u0434. \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c Savvy Games Group \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0411\u0440\u0430\u0439\u0430\u043d \u0423\u043e\u0440\u0434 (Brian Ward), \u0431\u044b\u0432\u0448\u0438\u0439 \u0433\u043b\u0430\u0432\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0443\u0434\u0438\u0439 Activision Blizzard.<\/p>\n"}],"published":1664482260,"related":[1072149,1072038,1070802],"revision":3,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075038","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[12593],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"images":{"fba785bbdec59904872286aaef55ba33":{"information":{"width":"750","height":"500","mime":"image\/jpeg","area":"375000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075038\/1252.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075038\/1252.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075038\/1252.jpg","filename":"1252.jpg","ext":"jpg","name":"1252.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Bloomberg","fsize":"203383","time":"1664476716"}},"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"saudovskaya-araviya-investiruet-v-kibersport-38-mlrd","socialmart":"","bCpu":"1","advertlink_url":""},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"xtype":0,"title":"\u0421\u0430\u0443\u0434\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0410\u0440\u0430\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u043c \u043a\u0438\u0431\u0435\u0440\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e $38 \u043c\u043b\u0440\u0434","time":"29.09.2022, 23:11","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075038\/1252.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335e530b4182e84022ae43b"},"id":1075037,"authors":[833],"categories":[10,62,638,641,655,658],"fullpath":["1075037","software-news\/1075037","software-news\/games\/1075037","software-news\/pc\/1075037","software-news\/rpg\/1075037","software-news\/anonse\/1075037","software-news\/mods\/1075037"],"generated":1664477851,"generator":{"id":833,"username":"evonrude","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0414\u043c\u0438\u0442\u0440\u0438\u0439 \u0420\u0443\u0434\u044c","groups":["","","",21,"",6]},"header":"\u0420\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 Dragonflight \u0434\u043b\u044f World of Warcraft \u0438 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0443\u0435\u0442 28 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f","keywords":["world of warcraft","world of warcraft: dragonflight","blizzard entertainment","\u0440\u043e\u043b\u0435\u0432\u0430\u044f \u0438\u0433\u0440\u0430"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u0412\u0441\u043b\u0435\u0434 \u0437\u0430 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1072294\/utechka-novaya-call-of-duty-warzone-i-world-of-warcraft-dragonflight-startuyut-v-noyabre-a-predzakazy-diablo-iv-otkroyut-v-dekabre\" target=\"_blank\">\u0430\u0432\u0433\u0443\u0441\u0442\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u043e\u0439<\/a> \u0438\u0437\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a Blizzard Entertainment <a href=\"https:\/\/worldofwarcraft.com\/en-us\/news\/23859631\/mark-your-calendars-the-journey-to-the-dragon-isles-begins-november-28\" target=\"_blank\">\u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u043b<\/a> \u0434\u0430\u0442\u0443 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f Dragonflight \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0438\u0433\u0440\u044b World of Warcraft.&nbsp;\u0410\u043d\u043e\u043d\u0441 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0436\u0434\u0430\u043b\u0441\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c.<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/0.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/00.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Blizzard Entertainment\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Blizzard Entertainment<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, World of Warcraft: Dragonflight <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1064282\/blizzard-anonsirovala-dopolnenie-dragonflight-k-world-of-warcraft-s-polyotami-na-drakonah-i-bez-dati-vihoda\" target=\"_blank\">\u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430<\/a> \u0432 \u0430\u043f\u0440\u0435\u043b\u0435 \u0438 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u043a \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0443 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1068542\/blizzard-utochnila-sroki-zapuska-rasshireniya-dragonflight-dlya-world-of-warcraft\" target=\"_blank\">\u0434\u043e \u043a\u043e\u043d\u0446\u0430 \u0433\u043e\u0434\u0430<\/a>, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432 \u0430\u0432\u0433\u0443\u0441\u0442\u0435 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c Reddit \u043e\u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u043b \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u043a \u0440\u0435\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432 Activision Blizzard \u0441 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0430\u0442\u043e\u0439 &mdash; 28 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f.<\/p>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, Dragonflight \u0438 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0438\u0442 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0443 28 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f. \u041f\u0440\u0435\u0434\u0437\u0430\u043a\u0430\u0437 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d \u0432 <a href=\"https:\/\/eu.shop.battle.net\/ru-ru\/product\/world-of-warcraft-dragonflight\" target=\"_blank\">Battle.net<\/a>. \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0441\u0435\u0437\u043e\u043d \u043d\u0430\u0447\u043d\u0451\u0442\u0441\u044f 12 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044f \u0441 \u0440\u0435\u0439\u0434\u043e\u043c Vault of the Incarnates \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u043c PvP-\u0441\u0435\u0437\u043e\u043d\u043e\u043c.<\/p>\n<p><\/p>\n<center><iframe frameborder=\"0\" height=\"422\" src=\"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/UANuDDQTNKY\" title=\"YouTube video player\" width=\"750\" allowfullscreen=\"\"><\/iframe><\/center>\n<p>\u041f\u043e \u0441\u044e\u0436\u0435\u0442\u0443 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0437\u0430\u0431\u044b\u0442\u044b\u0435 \u0442\u0430\u0439\u043d\u044b \u0414\u0440\u0430\u043a\u043e\u043d\u044c\u0438\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0432. \u0414\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0432 \u0440\u043e\u043b\u0438 \u0434\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0440\u0430-\u043f\u0440\u043e\u0431\u0443\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f &mdash; \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0441\u044b \u0438 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 \u0432 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 World of Warcraft.<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u0435\u0449\u0430\u044e\u0442 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0435\u0437\u0434\u0443 \u043d\u0430 \u0434\u0440\u0430\u043a\u043e\u043d\u0430\u0445, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0442\u0430\u043b\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0440\u0435\u043c\u0451\u0441\u0435\u043b \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0435\u0441\u0441\u0438\u0439, \u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043e 70-\u0433\u043e \u0438 \u0432\u043e\u0441\u0435\u043c\u044c \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0437\u0435\u043c\u0435\u043b\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0435.<\/p>\n"}],"published":1664477820,"related":[1072294,1068542,1064282],"revision":12,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075037","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[24631,2650],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"images":{"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075037\/00.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/00.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/00.jpg","filename":"00.jpg","ext":"jpg","name":"00.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Blizzard Entertainment","fsize":"290330","time":"1664476699","thumbnail":"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49"},"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075037\/sm.00.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/sm.00.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/sm.00.750.jpg","filename":"sm.00.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.00.750.jpg","caption":"","fsize":"290330","time":"1664476699","extended":"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f"},"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e":{"information":{"width":"1840","height":"1035","mime":"image\/jpeg","area":"1904400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075037\/0.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/0.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/0.jpg","filename":"0.jpg","ext":"jpg","name":"0.jpg","caption":"","fsize":"845869","time":"1664476702","thumbnail":"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb"},"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075037\/sm.0.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/sm.0.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075037\/sm.0.750.jpg","filename":"sm.0.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.0.750.jpg","caption":"","fsize":"370035","time":"1664476702","extended":"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e"}},"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"rasshirenie-dragonflight-dlya-world-of-warcraft-i-pravda-startuet-28-noyabrya","socialmart":"","bCpu":"1"},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"xtype":0,"title":"\u0420\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 Dragonflight \u0434\u043b\u044f World of Warcraft \u0438 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0443\u0435\u0442 28 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f","time":"29.09.2022, 21:57","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075037\/00.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335df9fb4182e90022ae439"},"id":1075036,"authors":[833],"categories":[10,62,638,642,652,95768,70374],"fullpath":["1075036","software-news\/1075036","software-news\/games\/1075036","software-news\/pc\/1075036","software-news\/action\/1075036","software-news\/horror\/1075036","software-news\/xbox\/1075036","software-news\/playstation\/1075036"],"generated":1664476239,"generator":{"id":833,"username":"evonrude","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0414\u043c\u0438\u0442\u0440\u0438\u0439 \u0420\u0443\u0434\u044c","groups":["","","",21,"",6]},"header":"\u041d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0444\u0430\u043d\u0442\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0445\u043e\u0440\u0440\u043e\u0440\u0430 The Callisto Protocol \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c \u00ab\u0443\u0436\u0430\u0441\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0435\u043a\u0440\u0435\u0442\u044b\u00bb \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u0440\u0430","keywords":["the callisto protocol","striking distance","krafton","\u044d\u043a\u0448\u0435\u043d","\u0445\u043e\u0440\u0440\u043e\u0440"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u041a\u0430\u043a \u0438 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1074865\/razrabotchiki-khorrora-the-callisto-protocol-nameknuli-na-skoriy-anons\" target=\"_blank\">\u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c<\/a>, \u0432\u0441\u043b\u0435\u0434 \u0437\u0430 \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c \u0442\u0438\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u0438\u0437\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e Krafton \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0443\u0434\u0438\u0438 Striking Distance <a href=\"https:\/\/twitter.com\/CallistoTheGame\/status\/1575530906978160640\" target=\"_blank\">\u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0438<\/a> \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440 \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0444\u0430\u043d\u0442\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0445\u043e\u0440\u0440\u043e\u0440\u0430 The Callisto Protocol.<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/0.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/00.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Krafton\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Krafton<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0441\u043e\u0431\u044b\u0442\u0438\u044f The Callisto Protocol \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442\u0441\u044f \u0432 2320 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0418\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c \u0432 \u0440\u043e\u043b\u0438 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u0430 \u0433\u0440\u0443\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u044f \u0414\u0436\u0435\u0439\u043a\u043e\u0431\u0430 \u041b\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438\u0437 \u0442\u044e\u0440\u044c\u043c\u044b &laquo;\u0427\u0451\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b&raquo; \u043d\u0430 \u041a\u0430\u043b\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043a\u0438\u0448\u0438\u0442 \u0431\u0438\u043e\u0444\u0430\u0433\u0430\u043c\u0438 (\u043c\u0443\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438).<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0434\u0432\u0443\u0445\u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 The Truth of Black Iron (&laquo;\u041f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430 \u043e \"\u0427\u0451\u0440\u043d\u043e\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0435\"&raquo;) \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c <em>&laquo;\u0443\u0436\u0430\u0441\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0435\u043a\u0440\u0435\u0442\u044b&raquo;<\/em>, \u0441\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u0437\u0430 \u0442\u044e\u0440\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0432\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439.<\/p>\n<p><\/p>\n<center><iframe frameborder=\"0\" height=\"422\" src=\"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/8yf_mXDPAKw\" title=\"YouTube video player\" width=\"750\" allowfullscreen=\"\"><\/iframe><\/center>\n<p>\u0412 \u0440\u043e\u043b\u0438\u043a\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0442\u0440\u044b\u0432\u043a\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0443\u0431\u0438\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u043e\u0432, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u0446\u0435\u043d\u044b \u0441 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0435\u043c \u0441\u043e\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u0438\u0446\u044b \u043f\u0440\u043e\u0442\u0430\u0433\u043e\u043d\u0438\u0441\u0442\u0430 &mdash; \u0435\u0451 \u0440\u043e\u043b\u044c \u0441\u044b\u0433\u0440\u0430\u043b\u0430 \u0437\u0432\u0435\u0437\u0434\u0430 &laquo;\u041f\u0430\u0446\u0430\u043d\u043e\u0432&raquo; \u041a\u0430\u0440\u0435\u043d \u0424\u0443\u043a\u0443\u0445\u0430\u0440\u0430 (Karen Fukuhara).<\/p>\n<p>\u0420\u0435\u043b\u0438\u0437 The Callisto Protocol \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f 2 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044f \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 PC (Steam, Epic Games Store), PS4, PS5, Xbox One, Xbox Series X \u0438 S. \u041d\u0430 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0435 Game Pass <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1073412\/vidimo-nauchnofantasticheskiy-horror-the-callisto-protocol-oboydyot-game-pass-storonoy\" target=\"_blank\">\u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442<\/a>.<\/p>\n"}],"published":1664476200,"related":[1074865,1073508,1073412],"revision":7,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075036","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[8519,2650],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"images":{"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075036\/00.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/00.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/00.jpg","filename":"00.jpg","ext":"jpg","name":"00.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Krafton","fsize":"167172","time":"1664475350","thumbnail":"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49"},"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075036\/sm.00.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/sm.00.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/sm.00.750.jpg","filename":"sm.00.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.00.750.jpg","caption":"","fsize":"167172","time":"1664475350","extended":"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f"},"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e":{"information":{"width":"1920","height":"1080","mime":"image\/jpeg","area":"2073600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075036\/0.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/0.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/0.jpg","filename":"0.jpg","ext":"jpg","name":"0.jpg","caption":"","fsize":"632089","time":"1664475352","thumbnail":"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb"},"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075036\/sm.0.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/sm.0.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075036\/sm.0.750.jpg","filename":"sm.0.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.0.750.jpg","caption":"","fsize":"217098","time":"1664475352","extended":"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e"}},"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"noviy-treyler-nauchnofantasticheskogo-horrora-the-callisto-protocol-predlagaet-raskrit-ugasayushchie-sekreti-igrovogo-mira","socialmart":"","bCpu":"1"},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"xtype":0,"title":"\u041d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0444\u0430\u043d\u0442\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0445\u043e\u0440\u0440\u043e\u0440\u0430 The Callisto Protocol \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c \u00ab\u0443\u0436\u0430\u0441\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0435\u043a\u0440\u0435\u0442\u044b\u00bb \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u0440\u0430","time":"29.09.2022, 21:30","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075036\/00.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335cdddb4182e90022ae437"},"id":1075034,"authors":[858],"categories":[9,26],"fullpath":["1075034","news\/1075034","news\/cpu\/1075034"],"generated":1664474702,"generator":{"name":"\u0411\u043e\u0442 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0434\u043e\u0432","id":0,"username":"top-trands-news-15m"},"header":"Ryzen 7000 \u0436\u0430\u0440\u044f\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438 \u2014 \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u043b\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u0430 20 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432","keywords":["\u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435","ryzen 7000","\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u044b","\u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u041e\u0431\u0437\u043e\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 Ryzen 7000 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1074831\/vishli-obzori-ryzen-7000\" target=\"_blank\">\u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438<\/a>, \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435, \u043d\u043e \u0432 \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0433\u043e\u0440\u044f\u0447\u0438\u0435 \u0447\u0438\u043f\u044b. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0444\u043b\u0430\u0433\u043c\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 16-\u044f\u0434\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 Ryzen 9 7950X \u0432 \u0442\u0435\u0441\u0442\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043e\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u043b\u0441\u044f \u0434\u043e 94&ndash;95, \u0430 \u0432 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0445 &mdash; \u0434\u043e 76 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0426\u0435\u043b\u044c\u0441\u0438\u044e. \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0441 \u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u044f\u0442\u044c \u0434\u043e 247 \u0412\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0421\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0443\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 AMD \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0432\u0435\u0441\u044c\u043c\u0430 \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0434\u0443\u0440\u044b \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0441\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438).<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/gergedfasfdsdgs.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Der8auer\" height=\"467\" width=\"750\" \/>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Der8auer<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041d\u0435\u043c\u0435\u0446\u043a\u0438\u0439 \u044d\u043d\u0442\u0443\u0437\u0438\u0430\u0441\u0442 \u0420\u043e\u043c\u0430\u043d \u0425\u0430\u0440\u0442\u0443\u043d\u0433 (Roman Hartung), \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434 \u043f\u0441\u0435\u0432\u0434\u043e\u043d\u0438\u043c\u043e\u043c Der8auer, \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u0438\u0442\u044c, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0441 Ryzen 9 7900X \u0441\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0443. \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0441\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c, \u043d\u043e \u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u043c.&nbsp;\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440 \u0431\u044b\u043b \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u0432 Socket AM5 \u0441\u043e \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u043c\u043a\u043e\u0439 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043f\u0451\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441&nbsp;&laquo;\u0433\u043e\u043b\u044b\u043c&raquo;&nbsp;CPU \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.&nbsp; <span>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u043b\u0430\u0441\u044c \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0441 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0442\u0438\u043f\u043e\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 360 \u043c\u043c.&nbsp;<\/span><\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/ryzen_7000_delid.png\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/sm.ryzen_7000_delid.750.png\" alt=\"\" height=\"456\" width=\"750\" \/> <\/a><\/div>\n<p>\u042d\u043d\u0442\u0443\u0437\u0438\u0430\u0441\u0442 \u0437\u0430\u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044f\u0434\u0435\u0440 Ryzen 9 7900X \u043d\u0430 5,4 \u0413\u0413\u0446. \u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 CPU \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u043b\u0438\u0448\u044c \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0448\u0435 70 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432 \u0426\u0435\u043b\u044c\u0441\u0438\u044f, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0441 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u043b\u0430 90 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438. \u0414\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 15 \u0412\u0442 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0438\u043f\u0430 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0435\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u044d\u043d\u0442\u0443\u0437\u0438\u0430\u0441\u0442 \u0441\u043c\u043e\u0433 \u0440\u0430\u0437\u043e\u0433\u043d\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c \u044f\u0434\u0440\u0430\u043c \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0430 100 \u041c\u0413\u0446, \u0434\u043e\u0431\u0438\u0432\u0448\u0438\u0441\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0432 5,5 \u0413\u0413\u0446.<\/p>\n<center><iframe frameborder=\"0\" height=\"422\" src=\"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/y_jaS_FZcjI\" title=\"YouTube video player\" width=\"750\" allowfullscreen=\"\"><\/iframe><\/center>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0441\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u0430 Der8auer \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430. \u041f\u043e\u0437\u0436\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430. \u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442. \u0412\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445, \u044d\u0442\u043e \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e. \u0415\u0441\u0442\u044c \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0425\u0430\u0440\u0442\u0443\u043d\u0433 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u0440\u043e\u043b\u0438\u043a\u0430. \u0412\u043e-\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445, \u044d\u0442\u043e \u043b\u0438\u0448\u0438\u0442 \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f.<\/p>\n"}],"published":1664474700,"related":[1075013,1074885,1074875,1074831],"revision":14,"robotype":2,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075034","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[2650],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":1,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"images":{"6503e3b49adcb079a9b7633cc5c4cc4b":{"information":{"width":"750","height":"467","mime":"image\/jpeg","area":"350250"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075034\/gergedfasfdsdgs.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/gergedfasfdsdgs.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/gergedfasfdsdgs.jpg","filename":"gergedfasfdsdgs.jpg","ext":"jpg","name":"gergedfasfdsdgs.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Der8auer","fsize":"227074","time":"1664470706"},"155bbf036b381bed12c6415db6f93428":{"information":{"width":"1595","height":"969","mime":"image\/png","area":"1545555"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075034\/ryzen_7000_delid.png\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/ryzen_7000_delid.png","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/ryzen_7000_delid.png","filename":"ryzen_7000_delid.png","ext":"png","name":"ryzen_7000_delid.png","caption":"","fsize":"390941","time":"1664474077","thumbnail":"86b7c15560763e3650190ef1bb8d2ebc"},"86b7c15560763e3650190ef1bb8d2ebc":{"information":{"width":"750","height":"456","mime":"image\/png","area":"342000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075034\/sm.ryzen_7000_delid.750.png\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/sm.ryzen_7000_delid.750.png","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075034\/sm.ryzen_7000_delid.750.png","filename":"sm.ryzen_7000_delid.750.png","ext":"png","name":"sm.ryzen_7000_delid.750.png","caption":"","fsize":"178032","time":"1664474077","extended":"155bbf036b381bed12c6415db6f93428"}},"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"ryzen-7000-delid","socialmart":"","bCpu":"1","advertlink_url":""},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":1,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"tg_notify_status":"0","xtype":0,"title":"Ryzen 7000 \u0436\u0430\u0440\u044f\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u044b\u0448\u043a\u0438 \u2014 \u0441\u043a\u0430\u043b\u044c\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u043b\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u0430 20 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432","time":"29.09.2022, 21:05","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075034\/gergedfasfdsdgs.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335d401b4182e70022ae439"},"id":1075035,"authors":[833],"categories":[10,62,655,91824],"fullpath":["1075035","software-news\/1075035","software-news\/games\/1075035","software-news\/anonse\/1075035","software-news\/cloudgaming\/1075035"],"generated":1664474880,"generator":{"id":748,"username":"Sozi","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0410\u043d\u0434\u0440\u0435\u0439 \u0421\u043e\u0437\u0438\u043d\u043e\u0432","groups":["","",6,36,12,33,42,45]},"header":"Google \u0432\u0441\u0451-\u0442\u0430\u043a\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u043e\u0435\u0442 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441 Stadia \u2014 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u0438\u0433\u0440 \u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442 \u0434\u0435\u043d\u044c\u0433\u0438","keywords":["google stadia","google"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u0412\u0438\u0446\u0435-\u043f\u0440\u0435\u0437\u0438\u0434\u0435\u043d\u0442 \u0438 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0434\u0436\u0435\u0440 Stadia \u0424\u0438\u043b \u0425\u0430\u0440\u0440\u0438\u0441\u043e\u043d (Phil Harrison) \u0432 \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0431\u043b\u043e\u0433\u0435 Google <a href=\"https:\/\/blog.google\/products\/stadia\/message-on-stadia-streaming-strategy\/\" target=\"_blank\">\u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0438\u043b<\/a> \u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u043c \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043b\u0430\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0430 Google Stadia.&nbsp;<span>\u041a\u0430\u043a \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, Google Stadia \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0451 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 18 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u044f 2023 \u0433\u043e\u0434\u0430.&nbsp;<\/span><\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/0.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/00.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Capcom\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Capcom<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0414\u0435\u043d\u044c\u0433\u0438 \u0437\u0430 \u0432\u0441\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u043a\u0438 (\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0438\u0433\u0440\u044b, \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f), \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 Google Store \u0438 Stadia Store, \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0432\u043e\u0437\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u044b \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c. \u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u043e\u0437\u0432\u0440\u0430\u0442\u043e\u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432 Google \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0438\u0442\u044c \u043a \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u044f 2023 \u0433\u043e\u0434\u0430. \u0414\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u043a \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0451\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0435\u043d\u0442\u0443 \u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0431\u0438\u0431\u043b\u0438\u043e\u0442\u0435\u043a\u0435 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u044c \u0434\u043e \u0434\u043d\u044f \u043e\u0442\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0430.<\/p>\n<p>\u041f\u043e \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u043c \u0425\u0430\u0440\u0440\u0438\u0441\u043e\u043d\u0430, \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0431\u0430\u0437\u0443, Stadia \u043d\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043d\u0430\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u0432 \u0433\u043b\u0430\u0437\u0430\u0445 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 Google \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0432 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u0441 \u0447\u0435\u043c \u0438 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u043e<em> &laquo;\u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435&raquo;<\/em> \u043e \u0441\u0432\u043e\u0440\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b.<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/1.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/01.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Google\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Google<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0425\u0430\u0440\u0440\u0438\u0441\u043e\u043d \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u0438\u043b, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 Stadia \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0438 \u0433\u0435\u0439\u043c\u0438\u043d\u0433\u0430. Google \u0432\u0438\u0434\u0438\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0432 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 (YouTube, Play \u041c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442, \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c), \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1059569\/google-pitaetsya-spasti-tehnologii-stadia-pod-novim-brendom-v-budushchee-servisa-kompaniya-uge-ne-verit\" target=\"_blank\">\u043f\u0430\u0440\u0442\u043d\u0451\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430\u0445<\/a>.<\/p>\n<p><em>&laquo;\u041c\u044b \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u043c\u0441\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b \u0433\u0435\u0439\u043c\u0438\u043d\u0433\u0443 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u043c \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u043d\u0451\u0440\u043e\u0432, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0442\u0432\u043e\u0440\u0446\u043e\u0432&raquo;<\/em>, &mdash; \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0438\u043b \u0425\u0430\u0440\u0440\u0438\u0441\u043e\u043d.<\/p>\n<p>\u0417\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a Stadia \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043b\u0441\u044f 19 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f 2019 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0432 30 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430\u0445. \u0421\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442&nbsp;<em>&laquo;\u043c\u0433\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f&raquo;<\/em> \u043a \u0438\u0433\u0440\u0430\u043c \u0431\u0435\u0437 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0436\u0430\u0442\u044c \u0438\u043b\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u0445. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0449\u0451 \u0432 \u0438\u044e\u043b\u0435 Google <a href=\"https:\/\/twitter.com\/GoogleStadia\/status\/1552989433590214656\" target=\"_blank\">\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u043b\u0430<\/a> \u0441\u043b\u0443\u0445\u0438 \u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u043c \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0438 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b.<\/p>\n"}],"published":1664473860,"related":[1059569,1055440,1052341],"revision":15,"robotype":1,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075035","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[1473],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":2,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"images":{"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/00.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/00.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/00.jpg","filename":"00.jpg","ext":"jpg","name":"00.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Capcom","fsize":"157834","time":"1664472457","thumbnail":"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49"},"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.00.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.00.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.00.750.jpg","filename":"sm.00.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.00.750.jpg","caption":"","fsize":"157834","time":"1664472457","extended":"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f"},"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e":{"information":{"width":"1600","height":"900","mime":"image\/jpeg","area":"1440000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/0.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/0.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/0.jpg","filename":"0.jpg","ext":"jpg","name":"0.jpg","caption":"","fsize":"497557","time":"1664472460","thumbnail":"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb"},"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.0.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.0.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.0.750.jpg","filename":"sm.0.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.0.750.jpg","caption":"","fsize":"198879","time":"1664472460","extended":"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e"},"4efdd2f969559e8b1c92e99f32ded48e":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/01.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/01.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/01.jpg","filename":"01.jpg","ext":"jpg","name":"01.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Google","fsize":"141447","time":"1664472968","thumbnail":"22019d3bd7d2baee1df34b0839224f3d"},"22019d3bd7d2baee1df34b0839224f3d":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.01.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.01.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.01.750.jpg","filename":"sm.01.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.01.750.jpg","caption":"","fsize":"141447","time":"1664472968","extended":"4efdd2f969559e8b1c92e99f32ded48e"},"f3ccdd27d2000e3f9255a7e3e2c48800":{"information":{"width":"1920","height":"1080","mime":"image\/jpeg","area":"2073600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/1.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/1.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/1.jpg","filename":"1.jpg","ext":"jpg","name":"1.jpg","caption":"","fsize":"432156","time":"1664472970","thumbnail":"9ef112c6f874ad833bdfc44e6e35d2aa"},"9ef112c6f874ad833bdfc44e6e35d2aa":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.1.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.1.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075035\/sm.1.750.jpg","filename":"sm.1.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.1.750.jpg","caption":"","fsize":"238561","time":"1664472970","extended":"f3ccdd27d2000e3f9255a7e3e2c48800"}},"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"google-vsyo-taki-zakroet-svoy-oblachniy-servis-stadia-pokupatelyam-ustroystv-i-igr-vernut-dengi","socialmart":"","bCpu":"1","advertlink_url":""},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"xtype":0,"title":"Google \u0432\u0441\u0451-\u0442\u0430\u043a\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u043e\u0435\u0442 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441 Stadia \u2014 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u0438\u0433\u0440 \u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442 \u0434\u0435\u043d\u044c\u0433\u0438","time":"29.09.2022, 20:51","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075035\/00.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335cb3bb4182e8a022ae435"},"id":1075033,"authors":[833],"categories":[10,62,776,657],"fullpath":["1075033","software-news\/1075033","software-news\/games\/1075033","software-news\/racing\/1075033","software-news\/rumors\/1075033"],"generated":1664472011,"generator":{"id":833,"username":"evonrude","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0414\u043c\u0438\u0442\u0440\u0438\u0439 \u0420\u0443\u0434\u044c","groups":["","","",21,"",6]},"header":"\u0421\u043b\u0443\u0445\u0438: \u0434\u043e \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 Need for Speed \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c, \u0430 \u0440\u0435\u043b\u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044c","keywords":["need for speed","electronic arts","\u0433\u043e\u043d\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0438\u0433\u0440\u0430"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u041f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0430\u0439\u0434\u0435\u0440 \u0422\u043e\u043c \u0425\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0441\u043e\u043d (Tom Henderson) \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0430 Insider Gaming <a href=\"https:\/\/insider-gaming.com\/need-for-speed-unbound-reveal\/\" target=\"_blank\">\u0440\u0430\u0441\u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b<\/a> \u043e \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0430 \u0438 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0433\u043e\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 Need for Speed.<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/0.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/00.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Electronic Arts\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439: Electronic Arts<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0425\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0441\u043e\u043d \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u043b, \u0431\u0443\u0434\u0442\u043e \u043d\u043e\u0432\u0430\u044f Need for Speed \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1068891\/slukhi-vdobavok-k-novoy-skate-v-iyule-pokazhut-sleduyuschuyu-need-for-speed-i-fifa-23\" target=\"_blank\">\u043f\u043e\u0434\u0437\u0430\u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043e\u043a Unbound<\/a> \u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0438\u0442 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0443 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1069137\/insayder-raskril-tochnie-dati-vihoda-fifa-23-i-novoy-need-for-speed\" target=\"_blank\">4 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430<\/a>. \u041f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441 \u0442\u0435\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c.<\/p>\n<p>\u0422\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0425\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0441\u043e\u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e Need for Speed: Unbound \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442 \u043b\u0438\u0448\u044c 2 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044f, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441 (\u0434\u0435\u0431\u044e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440 \u0440\u0430\u0441\u0442\u044f\u043d\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0442\u043e\u0440\u044b \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b) \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u0441\u044f \u0443\u0436\u0435 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c (\u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f).<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/1.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.1.750.jpg\" alt=\"\u0412 \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440\u0435 Unbound \u044f\u043a\u043e\u0431\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u0432\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043f\u0435\u0440\u0430 A$AP Rocky\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\"><span class=\"arrow\"><\/span>\n<p class=\"caption\">\u0412 \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440\u0435 Unbound \u044f\u043a\u043e\u0431\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u0432\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043f\u0435\u0440\u0430 A$AP Rocky<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0412 \u043f\u0440\u043e\u0448\u043b\u043e\u043c \u0425\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0441\u043e\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u043b Need for Speed: Unbound \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0438\u044e\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0437\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0439 Electronic Arts, \u043d\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437 \u0441\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043b\u0438 \u0441\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u0430\u0432\u0433\u0443\u0441\u0442, \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0441\u0435\u043d\u0442\u044f\u0431\u0440\u044c. \u0422\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c-\u0442\u043e, \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0441\u0430\u0439\u0434\u0435\u0440, \u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043d\u0435\u0434\u043e\u043b\u0433\u043e.<\/p>\n<p>\u041f\u043e \u0441\u043b\u0443\u0445\u0430\u043c, Need for Speed: Unbound \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u041f\u041a \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u043e\u043b\u0435\u0439 \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0418\u0433\u0440\u0430 \u044f\u043a\u043e\u0431\u044b \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u043c \u0441 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0430\u043d\u0438\u043c\u0435, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442 \u043d\u043e\u0432\u0443\u044e \u0441\u043e\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044e &laquo;\u0412\u0441\u0442\u0440\u0435\u0447\u0438&raquo; (Meetups) \u0438 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0441\u0441\u044b.<\/p>\n"}],"published":1664472000,"related":[1069137,1064024,1063577],"revision":8,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075033","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[176441],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"sluhi-do-ofitsialnogo-anonsa-novoy-need-for-speed-ostalos-menshe-dvuh-nedel-a-reliz-perenesli-na-dekabr","socialmart":"","bCpu":"1"},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"images":{"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075033\/00.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/00.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/00.jpg","filename":"00.jpg","ext":"jpg","name":"00.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Electronic Arts","fsize":"223529","time":"1664470042","thumbnail":"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49"},"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.00.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.00.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.00.750.jpg","filename":"sm.00.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.00.750.jpg","caption":"","fsize":"223529","time":"1664470042","extended":"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f"},"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e":{"information":{"width":"1920","height":"1080","mime":"image\/jpeg","area":"2073600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075033\/0.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/0.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/0.jpg","filename":"0.jpg","ext":"jpg","name":"0.jpg","caption":"","fsize":"946375","time":"1664470046","thumbnail":"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb"},"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.0.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.0.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.0.750.jpg","filename":"sm.0.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.0.750.jpg","caption":"","fsize":"261503","time":"1664470046","extended":"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e"},"f3ccdd27d2000e3f9255a7e3e2c48800":{"information":{"width":"1600","height":"900","mime":"image\/jpeg","area":"1440000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075033\/1.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/1.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/1.jpg","filename":"1.jpg","ext":"jpg","name":"1.jpg","caption":"\u0412 \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440\u0435 Unbound \u044f\u043a\u043e\u0431\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u0432\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043f\u0435\u0440\u0430 A$AP Rocky","fsize":"619033","time":"1664471731","thumbnail":"9ef112c6f874ad833bdfc44e6e35d2aa"},"9ef112c6f874ad833bdfc44e6e35d2aa":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.1.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.1.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075033\/sm.1.750.jpg","filename":"sm.1.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.1.750.jpg","caption":"\u0412 \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u0442\u0440\u0435\u0439\u043b\u0435\u0440\u0435 Unbound \u044f\u043a\u043e\u0431\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u0432\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043f\u0435\u0440\u0430 A$AP Rocky","fsize":"236791","time":"1664471731","extended":"f3ccdd27d2000e3f9255a7e3e2c48800"}},"xtype":0,"title":"\u0421\u043b\u0443\u0445\u0438: \u0434\u043e \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 Need for Speed \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c, \u0430 \u0440\u0435\u043b\u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044c","time":"29.09.2022, 20:20","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075033\/00.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335c487b4182e84022ae437"},"id":1075032,"authors":[833],"categories":[10,62,638,643,646,655],"fullpath":["1075032","software-news\/1075032","software-news\/games\/1075032","software-news\/pc\/1075032","software-news\/simulator\/1075032","software-news\/platformer\/1075032","software-news\/anonse\/1075032"],"generated":1664469767,"generator":{"id":833,"username":"evonrude","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0414\u043c\u0438\u0442\u0440\u0438\u0439 \u0420\u0443\u0434\u044c","groups":["","","",21,"",6]},"header":"Epic Games Store \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0430\u0441\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u044d\u043a\u0448\u0435\u043d-\u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0435\u0440\u0430, \u0432\u0434\u043e\u0445\u043d\u043e\u0432\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0435\u0432\u0438-\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u043c","keywords":["runbow","the drone racing league simulator","\u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0435\u0440","\u0441\u0438\u043c\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440","epic games store"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u041a\u0430\u043a \u0438 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1074681\/epic-games-store-ustroil-razdachu-simulyatora-vigivaniya-ark-survival-evolved-i-takticheskoy-rolevoy-igri-gloomhaven\" target=\"_blank\">\u0431\u044b\u043b\u043e \u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u043d\u043e<\/a>, 29 \u0441\u0435\u043d\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0435 \u0446\u0438\u0444\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0431\u0443\u0446\u0438\u0438 Epic Games Store \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0441\u043e\u0440\u0435\u0432\u043d\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0435\u0440\u0430 Runbow \u0438 \u0441\u0438\u043c\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0433\u043e\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0434\u0440\u043e\u043d\u0430\u0445 The Drone Racing League Simulator (DRL Simulator).<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/0.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/00.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439: Epic Games Store\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439: Epic Games Store<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>Runbow \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0440\u0435\u0432\u043d\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441 \u0434\u0440\u0443\u0437\u044c\u044f\u043c\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0435\u0442\u0438 (\u0434\u043e \u0434\u0435\u0432\u044f\u0442\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432) \u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u044d\u043a\u0440\u0430\u043d\u043e\u043c (\u0434\u043e \u0432\u043e\u0441\u044c\u043c\u0438) \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435, \u0433\u0434\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0438\u0441\u0447\u0435\u0437\u0430\u044e\u0442 \u0438 \u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e \u0441\u043c\u0435\u043d\u043e\u0439 \u0446\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0444\u043e\u043d\u0430.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 DRL Simulator \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0435 \u0434\u0440\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u0432\u0438\u0434\u043e\u043c \u043e\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0446\u0430. \u0418\u0433\u0440\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043a \u043f\u043e\u043b\u0451\u0442\u0430\u043c \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0436\u0438\u0437\u043d\u0438.<\/p>\n<div align=\"center\"><a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/1.jpg\" target=\"_blank\"> <img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.1.750.jpg\" alt=\"\" height=\"422\" width=\"750\" \/> <\/a><\/div>\n<p>\u0427\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u0431\u0435\u0441\u043f\u043b\u0430\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043f\u0438\u0439 <a href=\"https:\/\/store.epicgames.com\/ru\/p\/runbow-fc9fa4\" target=\"_blank\">Runbow<\/a> \u0438 <a href=\"https:\/\/store.epicgames.com\/ru\/p\/the-drone-racing-league-simulator\" target=\"_blank\">The Drone Racing League Simulator<\/a> \u0432 Epic Games Store, \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0438 \u043d\u0430\u0436\u0430\u0442\u044c &laquo;\u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c&raquo;. \u0422\u043e\u0432\u0430\u0440\u044b \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043a\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a \u0443\u0447\u0451\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0438\u0441\u0438.<\/p>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0437\u0430\u043a\u043e\u043d\u0447\u0438\u0442\u0441\u044f 6 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f \u0432 18:00 \u043f\u043e \u043c\u043e\u0441\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438. \u0422\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0436\u0435 \u0431\u0435\u0441\u043f\u043b\u0430\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0443\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u0432\u0434\u043e\u0445\u043d\u043e\u0432\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0435\u0432\u0438-\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u043c \u044d\u043a\u0448\u0435\u043d-\u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0435\u0440\u0430 &mdash; Rising Hell \u0438 Slain: Back from Hell.<\/p>\n"}],"published":1664469720,"related":[1074681,1074294,1073798],"revision":6,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075032","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[41797],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"epic-games-store-na-sleduyushchey-nedele-razdast-dva-ekshenplatformera-vdohnovlyonnih-hevimetalom","socialmart":"","bCpu":"1"},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"images":{"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075032\/00.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/00.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/00.jpg","filename":"00.jpg","ext":"jpg","name":"00.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439: Epic Games Store","fsize":"304386","time":"1664469065","thumbnail":"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49"},"9577a1d5689ecc41b13f1b21200d6c49":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.00.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.00.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.00.750.jpg","filename":"sm.00.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.00.750.jpg","caption":"","fsize":"304386","time":"1664469065","extended":"6bd8407bf6d5ceee8602e3fad4c3511f"},"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e":{"information":{"width":"2560","height":"1440","mime":"image\/jpeg","area":"3686400"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075032\/0.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/0.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/0.jpg","filename":"0.jpg","ext":"jpg","name":"0.jpg","caption":"","fsize":"1496618","time":"1664469067","thumbnail":"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb"},"fbaff0ae577b6195231e8686d72c17cb":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.0.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.0.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.0.750.jpg","filename":"sm.0.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.0.750.jpg","caption":"","fsize":"353665","time":"1664469067","extended":"cdc679bebbe282e170ab6fe0dca8445e"},"f3ccdd27d2000e3f9255a7e3e2c48800":{"information":{"width":"1920","height":"1080","mime":"image\/jpeg","area":"2073600"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075032\/1.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/1.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/1.jpg","filename":"1.jpg","ext":"jpg","name":"1.jpg","caption":"","fsize":"527270","time":"1664469236","thumbnail":"9ef112c6f874ad833bdfc44e6e35d2aa"},"9ef112c6f874ad833bdfc44e6e35d2aa":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.1.750.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.1.750.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075032\/sm.1.750.jpg","filename":"sm.1.750.jpg","ext":"jpg","name":"sm.1.750.jpg","caption":"","fsize":"281330","time":"1664469236","extended":"f3ccdd27d2000e3f9255a7e3e2c48800"}},"xtype":0,"title":"Epic Games Store \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0430\u0441\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u044d\u043a\u0448\u0435\u043d-\u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0435\u0440\u0430, \u0432\u0434\u043e\u0445\u043d\u043e\u0432\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0435\u0432\u0438-\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u043c","time":"29.09.2022, 19:42","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075032\/00.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335c056b4182e89022ae435"},"id":1075030,"authors":[858],"categories":[9,44],"fullpath":["1075030","news\/1075030","news\/mp\/1075030"],"generated":1664469238,"generator":{"id":748,"username":"Sozi","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0410\u043d\u0434\u0440\u0435\u0439 \u0421\u043e\u0437\u0438\u043d\u043e\u0432","groups":["","",6,36,12,33,42,45]},"header":"\u041f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0443\u043f\u0430\u0434\u0443\u0442 \u043d\u0430 10 %\u00a0\u2014 \u0432\u0438\u043d\u043e\u0432\u0430\u0442\u0430 \u0438\u043d\u0444\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f","keywords":["\u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b","\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u0430","\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u0410\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438\u0437 TrendForce \u043f\u0440\u043e\u0433\u043d\u043e\u0437\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0438\u0442\u043e\u0433\u0430\u043c 2022 \u0433\u043e\u0434\u0430. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0441 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043e\u0432.<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075030\/mvbbmxWSsuJuw.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Gigabyte Aorus\" height=\"422\" width=\"750\" \/>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Gigabyte Aorus<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041f\u043e \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e 20,5 \u043c\u043b\u043d \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430 10 % \u043d\u0438\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0448\u043b\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0444\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0415\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435 \u0438 \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043a \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0443.<\/p>\n<p>\u0410\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043e\u0433\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0432 2023 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0412 2021 \u0433\u043e\u0434\u0443 41 % \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0433\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438. \u041f\u043e \u0438\u0442\u043e\u0433\u0443 2022 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0434\u043e\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043e 44 %, \u0430 \u0432 2023 \u0433\u043e\u0434\u0443 &mdash; \u0434\u043e 46 %. \u0412 \u043e\u0442\u0447\u0451\u0442\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0438\u0437\u043e\u0433\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043b \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0435\u0432.<\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075030\/VugzmbXVyaKYLn.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: TrendForce\" height=\"456\" width=\"750\" \/>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: TrendForce<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u043c \u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445, \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 VA. \u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b \u043d\u0430 \u0435\u0451 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 48 % \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a. \u0421\u043b\u0435\u0434\u043e\u043c \u0438\u0434\u0443\u0442 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b IPS. \u041d\u0430 \u043d\u0438\u0445 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e 43 % \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a. \u0414\u043e\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b TN \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442 9 % \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430. \u0410\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u043b\u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 OLED-\u044d\u043a\u0440\u0430\u043d\u0430\u043c\u0438. \u0418\u0445 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c 0,4 %. \u0412 TrendForce \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0438\u0445 \u0434\u043e\u043b\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043f\u044f\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437, \u0434\u043e 2 %.<\/p>\n<p>\u0412 2023 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0434\u0440\u0430\u0439\u0432\u0435\u0440\u043e\u043c \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0434\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430. \u0412 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0437\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043e\u0444\u0438\u0441\u043d\u044b\u0445, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043a\u0440\u0430\u043d\u0430 (\u043e\u0442 100 \u0413\u0446 \u0438 \u0432\u044b\u0448\u0435) \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u0447\u0435\u043c \u0443\u0441\u0442\u0430\u0440\u0435\u0432\u0448\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0441 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f 75 \u0413\u0446. \u0412 \u043f\u0440\u0435\u043c\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u0435 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0432\u0435\u0439\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446 OLED, QD-OLED \u0438 Mini LED.<\/p>\n"}],"published":1664469180,"related":[1074589,1074813,1074872],"revision":7,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075030","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[7019],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"images":{"ebda708ee3dcedcc6248f942ff3e4fdd":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075030\/mvbbmxWSsuJuw.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075030\/mvbbmxWSsuJuw.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075030\/mvbbmxWSsuJuw.jpg","filename":"mvbbmxWSsuJuw.jpg","ext":"jpg","name":"mvbbmxWSsuJuw.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: Gigabyte Aorus","fsize":"275386","time":"1664467119"},"6d9735a4bf8c58c0d6e3b731e5cd579e":{"information":{"width":"750","height":"456","mime":"image\/jpeg","area":"342000"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075030\/VugzmbXVyaKYLn.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075030\/VugzmbXVyaKYLn.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075030\/VugzmbXVyaKYLn.jpg","filename":"VugzmbXVyaKYLn.jpg","ext":"jpg","name":"VugzmbXVyaKYLn.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: TrendForce","fsize":"115877","time":"1664467186"}},"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"prodagi-igrovih-monitorov-v-etom-godu-upadut-na-10-","socialmart":"","bCpu":"1","advertlink_url":""},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":1,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"tg_notify_status":"0","xtype":0,"title":"\u041f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0443\u043f\u0430\u0434\u0443\u0442 \u043d\u0430 10 %\u00a0\u2014 \u0432\u0438\u043d\u043e\u0432\u0430\u0442\u0430 \u0438\u043d\u0444\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f","time":"29.09.2022, 19:33","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075030\/mvbbmxWSsuJuw.jpg\/120\/85"},{"_id":{"$id":"6335b1cfb4182e3624321f08"},"id":1075025,"authors":[191],"categories":[9,626],"fullpath":["1075025","news\/1075025","news\/space\/1075025"],"generated":1664468253,"generator":{"id":748,"username":"Sozi","email":"info@3dnews.ru","name":"\u0410\u043d\u0434\u0440\u0435\u0439 \u0421\u043e\u0437\u0438\u043d\u043e\u0432","groups":["","",6,36,12,33,42,45]},"header":"\u0417\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a \u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438 SpaceX Crew-5 \u043d\u0430 \u041c\u041a\u0421 \u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u043e\u0442\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0443\u0440\u0430\u0433\u0430\u043d\u0430 \u2212 \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0434\u043e\u00a05 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f","keywords":["spacex","\u043c\u043a\u0441","\u043a\u043e\u0441\u043c\u043e\u0441"],"pages":[{"medal":"0","id":"none","header":"\u0421\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 1","body":"<p>\u0421\u0442\u0430\u0440\u0442 \u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438 Crew-5 \u043f\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0435 \u043d\u0430 \u041c\u041a\u0421 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u0435 SpaceX&nbsp;Crew Dragon \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043a\u0438\u043f\u0430\u0436\u0430 \u0438\u0437 \u0442\u0440\u0451\u0445 \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0441\u043c\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u0430 \u0410\u043d\u043d\u044b \u041a\u0438\u043a\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043d\u043e\u0432\u044c \u043e\u0442\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0443\u0442\u043a\u0438, \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437, \u0434\u043e 5 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u043e\u0439 \u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043b \u0443\u0440\u0430\u0433\u0430\u043d &laquo;\u0418\u044d\u043d&raquo;, \u043e\u0431\u0440\u0443\u0448\u0438\u0432\u0448\u0438\u0439\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0448\u0442\u0430\u0442 \u0424\u043b\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430. \u041f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0451\u0442 \u0431\u044b\u043b&nbsp;<a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1072950\/anna-kikina-poletit-v-kosmos-na-korable-spacex-crew-dragon-3-oktyabrya\">\u0437\u0430\u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d<\/a> \u043d\u0430 3 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f, \u043d\u043e \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0433\u043e\u0434\u044b \u0435\u0433\u043e&nbsp;<a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1074914\/pusk-kosmicheskogo-korablya-spacex-crew-dragon-s-rossiyankoy-annoy-kikinoy-perenesli-na-4-oktyabrya-izza-uragana\">\u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u043b\u0438<\/a><span style=\"font-size: 10pt;\">.<\/span><\/p>\n<div align=\"center\">\n<div class=\"source-wrapper\"><img src=\"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075025\/7.jpg\" alt=\"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: NASA\/JSC\" height=\"422\" width=\"750\" \/>\n<div class=\"caption-wrapper\">\n<p class=\"caption\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: NASA\/JSC<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041f\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u041d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0421\u0428\u0410 \u043f\u043e \u0441\u043b\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0437\u0430 \u0443\u0440\u0430\u0433\u0430\u043d\u0430\u043c\u0438,&nbsp;&laquo;\u0418\u044d\u043d&raquo; \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u0442\u0435\u0440\u0440\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0448\u0442\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u0441\u0435\u0432\u0435\u0440\u043e-\u0432\u043e\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u043d\u0430\u0431\u0438\u0440\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0443, \u0438 \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0443\u0436\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a 4-\u0439 \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0438. \u0412\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043e\u043d \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0440\u0440\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 \u041a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u041a\u0435\u043d\u043d\u0435\u0434\u0438 \u0432\u043e \u0424\u043b\u043e\u0440\u0438\u0434\u0435.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u041d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0430\u044d\u0440\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 (NASA) \u0421\u0428\u0410 \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0438\u043b, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0440\u0430\u0433\u0430\u043d \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0438\u0442 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u0434\u0430 \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u0435 Falcon 9 \u0438 \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u044e Crew Dragon, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0430\u043d\u0433\u0430\u0440\u0435 SpaceX \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0435 39A.<\/p>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0432\u0441\u0451 \u043f\u0440\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u043d\u043e, \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a Falcon 9 \u0441 \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u0451\u043c Crew Dragon \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0451\u043d 5 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f \u043d\u0435 \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0434\u0435\u043d\u044c \u043f\u043e \u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 (19:00 \u043c\u0441\u043a). \u0412 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u044b-\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 7 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f.<\/p>\n<p>\u0423\u0440\u0430\u0433\u0430\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043b \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u043e\u0439 <a href=\"https:\/\/3dnews.ru\/1074773\/zapusk-lunnoy-missii-artemis-i-vnov-otlogili-na-etot-raz-izza-pribligayushchegosya-uragana\">\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/a> \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u043b\u0443\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438 NASA Artemis 1, \u043d\u0430\u043c\u0435\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 27 \u0441\u0435\u043d\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f. \u0421\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u0430-\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c SLS \u0441 \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u0451\u043c Orion \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0430\u043d\u0433\u0430\u0440\u0435 \u0438 \u0435\u0451 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a \u043a \u041b\u0443\u043d\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435 \u0440\u0430\u043d\u044c\u0448\u0435 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u044f.<\/p>\n"}],"published":1664468220,"related":[1075020,1074914,1074633],"revision":5,"robotype":0,"short_header":"\u041f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f #1075025","showincat":1,"showonmain":1,"sources":[7866,142719],"static":0,"status":1,"subjects":[],"thread":0,"type":0,"uploaded":"2022-09-29","lockTime":false,"lockedBy":false,"advertlink":0,"extras":{"disableComments":"0","cpu":"zapusk-missii-spacex-crew5-na-mks-s-annoy-kichkinoy-otlogili-do-5-oktyabrya-izza-uragana","socialmart":"","bCpu":"1","advertlink_url":""},"firstlook":0,"hideinmainnews":0,"hideinnewsfeedonmain":0,"iconPath":"\/assets\/images\/icon-stub.png","notifytg":0,"origin":"\/","teaser":"\u0422\u0438\u0437\u0435\u0440","xstat":0,"images":{"fe5df232cafa4c4e0f1a0294418e5660":{"information":{"width":"750","height":"422","mime":"image\/jpeg","area":"316500"},"preview":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:r\/2022\/09\/29\/1075025\/7.jpg\/222","url":"https:\/\/3dnews.ru\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075025\/7.jpg","path":"\/root\/assets\/external\/illustrations\/2022\/09\/29\/1075025\/7.jpg","filename":"7.jpg","ext":"jpg","name":"7.jpg","caption":"\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: NASA\/JSC","fsize":"378818","time":"1664463789"}},"xtype":0,"title":"\u0417\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a \u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438 SpaceX Crew-5 \u043d\u0430 \u041c\u041a\u0421 \u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u043e\u0442\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0443\u0440\u0430\u0433\u0430\u043d\u0430 \u2212 \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0434\u043e\u00a05 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u044f","time":"29.09.2022, 19:17","image":"https:\/\/3dnews.ru\/z\/ac:if\/w:m\/2022\/09\/29\/1075025\/7.jpg\/120\/85"}]}